一、超高真空擋板閥概述

CF系列閥門適用于超高真空系統(tǒng)中開斷管路，為手動(dòng)、氣動(dòng)兩種驅(qū)動(dòng)方式。它具有工作平穩(wěn)，使用可靠、密封性能佳和壽命長(zhǎng)等優(yōu)點(diǎn)，是超高真空閥門；閥門的介質(zhì)為空氣及少數(shù)腐蝕性氣體。
1.手動(dòng)閥是以人工轉(zhuǎn)動(dòng)手柄為動(dòng)力通過螺紋傳動(dòng)實(shí)現(xiàn)閥板開啟和關(guān)閉，開啟和關(guān)閉的方向以手柄上的標(biāo)識(shí)為準(zhǔn)；
2.氣動(dòng)閥是以壓縮空氣為動(dòng)力開啟或關(guān)閉閥板，在失去氣源時(shí)，閥板將依靠彈簧力自動(dòng)關(guān)閉。

二、超高真空擋板閥特點(diǎn)

標(biāo)準(zhǔn)化、模塊化設(shè)計(jì)，易于更換及維修；
CF系列超高真空擋板閥便于清潔的設(shè)計(jì)；
軸封為波紋管密封，其它密封件為氟橡膠，無潤(rùn)滑劑設(shè)計(jì)；
閥體采用不銹鋼內(nèi)部焊接，漏率小；

三、超高真空擋板閥參數(shù)

類型： 擋板閥
驅(qū)動(dòng)方式： 手動(dòng)/氣動(dòng)
法蘭形式： CF
閥體材料： 不銹鋼
適用真空： 超高真空

適用范圍：1×10-6pa～1.2×105Pa（波紋管密封）
打開時(shí)閥板上的壓差：≤1.2×105a 任意方向
閥體和閥座漏率： <1.3×10-7Pa·L·s-1
保養(yǎng)循環(huán)次數(shù)：800，000次
閥體烘烤溫度：打開時(shí)≤200℃；關(guān)閉時(shí)≤150℃
安裝位置：任意
電源：交流220V 50Hz，6W或直流24V，3W（規(guī)格可定做）
壓縮空氣：0.4～0.7MPa
閥門開閉時(shí)間：≤1s

閥門位置指示：
手動(dòng)驅(qū)動(dòng)：帶有啟閉位置指示
氣動(dòng)驅(qū)動(dòng)：帶有啟閉位置指示開關(guān)（磁性開關(guān)）