一、超高真空可調(diào)式插板閥概述

此閥門為帶步進(jìn)電機(jī)的控制插板閥，在結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)上合理，外形上美觀，使用可靠、壽命長等優(yōu)點(diǎn)，能廣泛應(yīng)用于需要調(diào)節(jié)閥門的開啟度來控制流量的超高真空設(shè)備中。
閥門分別以步進(jìn)電機(jī)傳動(dòng)力矩為動(dòng)力，通過傳動(dòng)桿推（拉）動(dòng)連桿機(jī)構(gòu)，帶著驅(qū)動(dòng)體沿軸向運(yùn)動(dòng)，驅(qū)動(dòng)體通過擺桿或鋼珠與閥板連接，完成閥板開啟及關(guān)閉動(dòng)作。

閥門作為一個(gè)節(jié)流元件動(dòng)作，驅(qū)動(dòng)由驅(qū)動(dòng)器，步進(jìn)電機(jī)和控制器來完成，其中控制器提供一個(gè)位置控制模式，它允許控制閥以選定速度在開和關(guān)的任意位置，而電源控制也可手動(dòng)調(diào)節(jié)，電源控制時(shí)，為脈沖信號(hào)控制，速度快，定位準(zhǔn)。閥門的介質(zhì)為空氣及非腐蝕性氣體。

二、超高真空可調(diào)式插板閥特點(diǎn)

軸封為波紋管密封，其它密封件為氟橡膠，無潤滑劑設(shè)計(jì)；
閥體采用不銹鋼內(nèi)部焊接，漏率小；
閥體采用加強(qiáng)筋結(jié)構(gòu)，體積小、重量輕，外形美觀；
采用雙導(dǎo)軌軸承滾輪機(jī)構(gòu)，運(yùn)動(dòng)平穩(wěn)；閥板整體式結(jié)構(gòu)，支撐力均勻；
步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)，閥門的閥板開啟位置任意可調(diào)，可用于調(diào)節(jié)流量。

三、超高真空可調(diào)式插板閥參數(shù)

類型： 插（閘）板閥
驅(qū)動(dòng)方式： 電動(dòng)
法蘭形式： CF LF ISO-F GB-LP
閥體材料： 不銹鋼
適用真空： 超高真空

適用范圍：1×10-6Pa～1.2×105Pa（蓋板氟膠圈密封）
打開時(shí)插板上的壓差：≤3×103Pa任意方向
閥體和閥座漏率： <1.3×10-7Pa·L·s-1
保養(yǎng)循環(huán)次數(shù)：10，000次
閥體烘烤溫度：打開時(shí)≤200℃；關(guān)閉時(shí)≤150℃
安裝位置：任意
電源：交流220V 50Hz或直流50V以下，電流最大為5.5A
閥門開啟或關(guān)閉時(shí)間：可調(diào)
閥門位置指示：全關(guān)、全閉位置指示開關(guān)（微動(dòng)開關(guān)），其它位置通過脈沖來控制