一、袖珍型超高真空插板閥概述

此閥門分為手動、氣動驅(qū)動兩種方式，在結(jié)構(gòu)設計上合理，在外形上美觀，并具有動作平穩(wěn)、體積小、使用可靠、密封性能好和壽命長等優(yōu)點，能廣泛應用于超高真空設備中。閥門以壓縮空氣推動氣缸為動力，通過傳動桿推（拉）動連桿機構(gòu)，帶著驅(qū)動體沿軸向運動，驅(qū)動體通過擺桿與閥板連接，完成閥板開啟及關閉動作。閥門的介質(zhì)為空氣及非腐蝕性氣體。

二、袖珍型超高真空插板閥特點

軸封為波紋管密封，無潤滑劑設計；
閥體材料為不銹鋼，整體剛性好，體積小，外形美觀；
采用雙導軌軸承滾輪機構(gòu)，運動平穩(wěn)；閥板內(nèi)整體式結(jié)構(gòu)，支撐力均勻。

三、袖珍型超高真空插板閥性能指標

適用范圍：
1×10-5Pa～1.2×105Pa（全部氟膠圈密封）
1×10-6Pa～1.2×105Pa（波紋管密封）

打開時插板上的壓差：≤3×103Pa任意方向
閥體和閥座漏率：1.3×10-7Pa·L·s-1

保養(yǎng)循環(huán)次數(shù)：10，000次
閥體烘烤溫度：打開時≤200℃；關閉時≤150℃
安裝位置：任意
電源：交流220V 50Hz，6W或直流24V，3W（除了上述規(guī)格外，規(guī)格可定做）
閥門開啟或關閉時間：≤3s
氣動壓縮空氣：0.4～0.7MPa

閥門位置指示
手動驅(qū)動：帶有啟閉位置指示（機械式）
氣動驅(qū)動：帶有啟閉位置指示開關（磁性開關）