新能源汽車半導(dǎo)體行業(yè)的真空工藝應(yīng)用有哪些？

1、半導(dǎo)體行業(yè)中的蒸發(fā)、濺射、PECVD、真空干法刻蝕、真空吸附、測試設(shè)備、機(jī)械手搬運吸附、自動化真空清掃等鍵合工序里均會用到真空。半導(dǎo)體行業(yè)對應(yīng)的不同的真空要求如中高真空、清掃真空（粗真空）、工藝真空（粗真空）。部分還有要求真空泵向被抽空間內(nèi)的返流為零，以保護(hù)工件免受污染。

2、工藝真空主要利用負(fù)壓吸附進(jìn)行工件搬運或夾持，清掃真空主要利用負(fù)壓與大氣壓差進(jìn)行液體或顆粒的清除或輸送，此類應(yīng)用中水環(huán)真空泵和多級離心風(fēng)機(jī)是非常關(guān)鍵的生產(chǎn)輔助設(shè)備。

半導(dǎo)體真空系統(tǒng)應(yīng)用要求及案例：

1.應(yīng)用要求——半導(dǎo)體行業(yè)的工藝特性，要求系統(tǒng)絕對無油，對設(shè)備的穩(wěn)定性和可靠性要求也比較高。

2.應(yīng)用案例——湖南某電氣公司擁有一流的功率半導(dǎo)體生產(chǎn)線，形成從設(shè)計、制造、封裝與測試等全套能力，電氣汽車組件配套建設(shè)項目，選用了2套康斯頓2BE水環(huán)真空系統(tǒng)，（水環(huán)真空泵安全可靠，100%無油，完全滿足半導(dǎo)體行業(yè)的工藝真空要求），目前設(shè)備安裝調(diào)試完畢，機(jī)組運行穩(wěn)定。
該項目全部產(chǎn)能將用于新能源汽車用基材及組件生產(chǎn)，康斯頓(CNST)真空泵系統(tǒng)的應(yīng)用，整體提升了電氣功率半導(dǎo)體工藝平臺及生產(chǎn)制造能力，真空泵系統(tǒng)/真空泵工藝可滿足新能源汽車領(lǐng)域巨大市場需求，進(jìn)一步做大做強(qiáng)做優(yōu)功率半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)。

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