2021螺桿真空泵火了,據(jù)了解半導體行業(yè)應用較為廣泛,而干式螺桿真空泵的出現(xiàn)替代了大部分油螺桿真空泵,跟隨深圳市務明系統(tǒng)集成有限公司、深圳真空泵生產(chǎn)廠家來看看,干式真空泵應用于半導體行業(yè)的優(yōu)勢。
干式真空泵、干式螺桿真空泵應用于半導體優(yōu)勢如下:
1.消除了工藝過程中油污染或油搭載進入尾氣處理系統(tǒng)的風險
2.不會產(chǎn)生廢物、或者污染寶貴的溶劑、產(chǎn)品或環(huán)境
3.完全干燥,對上下游工藝沒有任何污染
4.干式螺桿真空泵無任何腐蝕風險
5.吸入的溶劑或其他有用成分可以在泵的出口直接回收
6.干式真空泵工作效率更高、耗電更少
綜合上述,干式螺桿真空泵特點明顯,半導體生產(chǎn)過程中所需具備抽除腐蝕性氣體、粉塵顆粒、有毒氣體等,干式螺桿真空泵均可解決,因此被廣泛應用于半導體行業(yè)。
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