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真空泵基礎(chǔ)選型理論

真空可分為4級:

? 粗真空 (RV):? 1000 - 1 mbar

? 中真空 (MV):? 1 - 10-3 mbar

? 高真空 (HV):? < 10-3 - 10-7 mbar

? 超高真空 (UHV):? < 10-7 mbar

真空的度量單位:

國際制單位:? mbar + Pa ? 1 mbar = 100 Pa = 1 hPa

其它單位:? N/m2? 1 N/m2 = 1 Pa = 0,01 mbar

? Torr? 1 Torr = 1,33 mbar

? mmHG? 1 mmHG = 1 Torr = 1,33 mbar

? Atmosphere? 1 atm = 1013 mbar

? Micron? 1 μ = 0,001 Torr = 0,00133 mbar

? PSI? 1 psi = 0,069 bar

? ? ? ? ?% Vacuum? 1 % Vacuum = 10 mbar

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