真空泵是一種產(chǎn)量大，應(yīng)用面很廣的產(chǎn)品，但它確實是直接影響真空設(shè)備性能質(zhì)量的必備基礎(chǔ)產(chǎn)品。真空泵的范圍從高/超真空到粗/低真空。產(chǎn)品可分為14類：

高/超真空——低溫泵，分子泵，濺射離子泵，鈦升華泵，擴散泵。?

中真空——干式泵，兩級旋片泵，羅茨泵，油增壓泵，水蒸汽噴射泵。?

粗/低真空——單級旋片泵，滑閥泵，液環(huán)泵，往復(fù)式真空泵。?

真空泵市場根據(jù)用戶需求動態(tài)變化。市場增長的主要驅(qū)動因素是半導(dǎo)體行業(yè)的快速發(fā)展以及干泵和分子泵應(yīng)用的日益增長。?

目前，全球真空泵市場年銷售額約為20億美元，年增長率約為7％。?

中國有許多真空泵制造商。所有真空泵的年銷售額約為1.5億元，僅相當于美國 Kinney真空泵的年銷售額。通過對全球真空泵市場的分析，可以看出各種真空泵的市場和應(yīng)用領(lǐng)域在不斷變化和發(fā)展。中國的真空泵制造業(yè)歷史悠久，基礎(chǔ)扎實。國內(nèi)生產(chǎn)的真空泵已經(jīng)在各個領(lǐng)域得到應(yīng)用和驗證。一些泵也出口到國外，并得到了外國用戶的認可，并得到了好評。應(yīng)該說中國的真空泵制造業(yè)在中國內(nèi)外部市場仍有巨大的發(fā)展空間。?

雖然液環(huán)泵是一臺粗真空泵，但它在中國的石油，化工，電力，紡織，造紙，醫(yī)藥等領(lǐng)域仍有很大的市場。

在國外，液環(huán)泵的銷量占真空泵市場總量的14％，僅次于干泵，因此Nash，Seimems和Kinney等公司正在中國投資或建立銷售網(wǎng)絡(luò)以擴大其在中國的市場份額。由于液環(huán)泵主要是鑄造而且加工要求不高，因此它是一種勞動密集型產(chǎn)品。因此，國產(chǎn)液環(huán)泵在價格上具有競爭優(yōu)勢。關(guān)鍵是要改進設(shè)計，減少體積，減輕重量，提高效率，降低能耗。?

由于滑閥泵更耐用可靠，國內(nèi)外各種真空爐，涂布機，烘干和浸漬設(shè)備使用滑閥泵作為前級泵，但滑閥泵鑄件很重，加工工作量很大，因此國外真空廠正在尋找合作伙伴，為了使國內(nèi)滑閥進入國際市場，有必要進一步降低泵的振動和噪音，防止燃油噴射和漏油，提高滑閥泵長期運行的可靠性。

隨著真空技術(shù)在各種應(yīng)用中的不斷擴展，對直聯(lián)旋片泵的需求不斷增加。由于此類泵的數(shù)量眾多，加工和裝配工作量非常大，而且價格非常低，因此一些國外真空制造商在中國設(shè)立了專業(yè)工廠。國內(nèi)中小型直聯(lián)旋片泵已經(jīng)過技術(shù)通過，價格遠遠低于國外泵。因此，國產(chǎn)泵仍具有競爭優(yōu)勢。關(guān)鍵是要解決軸封油泄漏問題以及旋轉(zhuǎn)葉片材料和真空泵油的性能質(zhì)量問題。確保直聯(lián)泵在高速和高溫下穩(wěn)定可靠，進一步提高了國產(chǎn)直聯(lián)旋片泵除去水蒸氣的能力。?

來自國外羅茨泵的生產(chǎn)情況，幾家大型外國公司，如Leybold，Balzers，Alcatell，Edwards和ULVAC，他們的羅茨泵銷量占全球銷售額的羅茨泵超過5％，這5家僅占20％，生產(chǎn)的是羅茨泵并不大，但國外羅茨泵的價格遠高于國產(chǎn)泵。目前，國內(nèi)外幾乎所有大小型高真空和中等真空系統(tǒng)都配備有羅茨泵，以縮短抽氣時間，提高生產(chǎn)效率。因此，國內(nèi)羅茨泵必須在占領(lǐng)國內(nèi)市場的基礎(chǔ)上進入國際市場。進一步降低國產(chǎn)羅茨泵的振動噪聲，徹底解決了軸封漏油問題，提高了泵的外觀質(zhì)量，提高了泵的平穩(wěn)性和清潔度。另外，有必要考慮一些國家和地區(qū)的工頻是60Hz，并且必須在增加速度的條件下確保羅茨泵的長期運行的可靠性。?

目前，國內(nèi)氣冷直排氣氛羅茨泵進展迅速，技術(shù)成熟。

由于泵在排氣口下方配備了氣體冷卻器，一部分冷卻后的氣體通過管道返回泵室冷卻轉(zhuǎn)子，使壓縮熱平衡，泵可直接排氣到了大氣層。為了滿足不同極限真空的要求，泵可以串聯(lián)使用。通常，前面增加了空氣冷卻的直排氣氛羅茨泵，實現(xiàn)的極限真空比前級泵高一個數(shù)量級。這種類型的泵實際上是干泵，因為泵室中沒有工作介質(zhì)。目前，這種氣冷式在線氣氛羅茨泵和機組已經(jīng)在石油，化工，塑料，農(nóng)藥，渦輪轉(zhuǎn)子動平衡，航天空間模擬等設(shè)備的長期運行中進行了測試，因此應(yīng)予以推廣和應(yīng)用。在中國申請。?

分子泵在許多國外半導(dǎo)體領(lǐng)域，它被用來取代低溫泵，尤其是濺射，刻蝕和LCVD。復(fù)合材料分子泵和牽引泵用作主泵。?

由于水蒸汽的分子泵僅為相同直徑低溫泵抽速的四分之一，因此分子泵的排氣時間比低溫泵的排氣時間長。為了增加抽速，在分子泵的入口側(cè)安裝了-130°C~-150°C的低溫冷板，稱為低溫分子泵。水蒸氣被低溫板捕獲，其他氣體被分子泵抽走。這種低溫分子泵適用于真空鍍膜設(shè)備，不僅提高了生產(chǎn)效率，還提高了薄膜質(zhì)量。隨著中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)，電影產(chǎn)業(yè)和科學研究的迅速發(fā)展，分子泵應(yīng)成為中國真空泵制造業(yè)發(fā)展的重點。首先，分子泵應(yīng)該從小到大構(gòu)建一個完整的系列，并研發(fā)各種復(fù)合分子泵，牽引泵和低溫分子泵，以滿足不同場合的需要。?

海外干泵市場繼續(xù)增長，其主要驅(qū)動力來自半導(dǎo)體工業(yè)，化學工業(yè)和電影工業(yè)的快速發(fā)展。在日本，半導(dǎo)體工業(yè)用干式真空泵取代了油封機械泵。超過45％的歐美半導(dǎo)體行業(yè)用干式真空泵取代了油封機械泵，大大提高了產(chǎn)品的性能和質(zhì)量。為了滿足不同應(yīng)用領(lǐng)域和不同工況的要求，有多級羅茨真空泵，多級爪式真空泵，螺桿真空泵，渦旋真空泵，往復(fù)式活塞真空泵和渦輪無油真空泵。極限壓力為10 Pa至10-2 Pa，0 x 7d6為20 m3/h至500 m3/h。

據(jù)統(tǒng)計，目前國內(nèi)干泵應(yīng)用不到1％。半導(dǎo)體行業(yè)的國產(chǎn)干泵全部從國外進口，價格非常昂貴。因此，中國應(yīng)大力研發(fā)干泵，使干泵成為中國真空行業(yè)新的經(jīng)濟增長點。?

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