真空輸送，真空浸漬，真空過濾，真空單調(diào)，真空脫氣(鋼水處理)等低真空裝置需要具有高工作壓力和大排量的低真空抽油機(jī)，以及主泵這種低真空抽油機(jī)常用的往復(fù)式真空泵，油封真空泵，水蒸氣輻射泵，水環(huán)泵，羅茨泵等。使用的低真空抽油機(jī)也需要配備必要的粉塵收集器，單調(diào)罐等根據(jù)抽氣的清潔度，濕度或其他特殊要求。在緊固過程中水蒸氣會凝結(jié)成水滴，并與泵混合形成懸浮液，這不僅會導(dǎo)致真空度下降，還會使泵腔和轉(zhuǎn)子生銹，破壞密封面，導(dǎo)致泵的極限真空度下降。因此，重要的是防止水蒸氣污染機(jī)械泵。預(yù)防措施是：

　　(1)使用帶有氣鎮(zhèn)裝置的油封機(jī)械泵;

　　(2)油分離器，離心分離器或油水分離器，將混有水的機(jī)械泵油處理，然后將處理過的油用于泵中;

　　(3)使用吸水的單調(diào)劑;

　　(4)使用液氮冷阱，不僅有效地吸附水蒸氣，同時(shí)也可阻擋機(jī)械泵油從回流到高真空室。

　　油擴(kuò)散泵真空系統(tǒng)污染和防止油擴(kuò)散泵真空系統(tǒng)是最常見的真空系統(tǒng)，其真空范圍為1.3×10-3~1.3×10-5 Pa。畢竟由油擴(kuò)散泵真空系統(tǒng)組成的各種真空裝置，常見的缺點(diǎn)是真空不能被抽空，或真空不能被泵送到原來的極限真空水平。它涉及真空室壁內(nèi)的油蒸氣污染和真空過程中各種污染物的污染。預(yù)防方法是：

　　(1)定期清潔真空室。

　　(2)定期停止清洗油封機(jī)械真空泵和油金屬擴(kuò)散泵。