一般的高真空系統(tǒng)均須采用真空機組以獲得足夠高的真空。最簡單的真空機組為多級擴散泵或渦輪分子泵(作為主泵)與機械泵(作為前置泵)等串聯(lián)。在多泵串聯(lián)使用時，不但極限真空要有一定的要求，抽速之間也應有合理的配合，以充分發(fā)揮各泵的效能。各泵之間的關系，可根據(jù)穩(wěn)定流動下，流量恒定關系來確定。?

設S1為主泵的抽速，S2為前置泵的抽速，p1為工作時主泵的進口壓強，P2為前置泵的進口壓強。則主泵的抽除量為p1S1，前置泵的抽除量為P2S2。穩(wěn)定流動時，兩者相等，故有：p1S1=p2S2?

則得：?

即前置泵的抽速應等于主泵抽速乘以兩泵的工作壓強比值p1/p2。因為有p1,p2，故有S2,S1,即前置泵抽速比主泵抽速小。例如，設機組工作時擴散泵的壓強為機械泵的10-3倍，即p1/p2=10-3，此時理論上機械泵抽速僅為擴散泵抽速的千分之一即可。實際選用機械泵時抽速應比理論值大3~5倍，以留有充分的余地;同時可縮短系統(tǒng)達到擴散泵啟動壓強所需的時間。

現(xiàn)在很多的公司,因為需要滿足生產(chǎn)需要去選擇購買真空機組.但是需要注意的是,在購買的過程中一定要聽一下專業(yè)人員的建議,選擇合適的自己的真空機組.