真空泵機(jī)組通常由以下部件組成：各種真空泵;真空測(cè)量機(jī)組;真空閥;真空管和一些其他組件，如鼓風(fēng)機(jī)，真空接頭，儲(chǔ)氣罐，波紋管，集塵器和真空繼電器。

根據(jù)機(jī)組的工作壓力，有粗真空泵機(jī)組;低真空泵機(jī)組;高真空泵機(jī)組;超高真空泵機(jī)組~1.3×10-11 Pa）;非常高的真空泵機(jī)組。

用于高真空的羅茨真空泵不能直接排放到大氣中。例如，直排氣氛將導(dǎo)致羅茨真空泵的入口和排氣口之間的壓力差太大，從而使羅茨真空泵過載。增加羅茨真空泵電機(jī)的功率將導(dǎo)致羅茨真空泵過熱，因此羅茨真空泵轉(zhuǎn)子之間的小間隙會(huì)因熱膨脹而迅速卡住。為了確保羅茨真空泵能夠?qū)崿F(xiàn)更高的真空度，必須確保羅茨真空泵轉(zhuǎn)子之間的間隙。因此，羅茨真空泵必須配備前級(jí)泵，當(dāng)系統(tǒng)中的壓力通過前級(jí)泵泵送到一定范圍時(shí)，羅茨真空泵啟動(dòng)，這樣可以防止羅茨真空泵過載。前級(jí)泵可以是可以直接排放到大氣中的真空泵，例如水環(huán)真空泵，旋片真空泵，滑閥真空泵或往復(fù)式真空泵。

羅茨真空泵機(jī)組在正常情況下，使用水環(huán)泵作為前級(jí)泵比其他真空泵更有優(yōu)勢(shì)，主要是因?yàn)樗梢匀コ罅康目衫淠羝?，特別是當(dāng)氣鎮(zhèn)機(jī)械真空泵消除冷凝時(shí)。有性蒸汽容量不足，或者使用的溶劑會(huì)使泵油劣化并影響性能，或者當(dāng)真空系統(tǒng)不允許油污染時(shí)更明顯。

低真空泵機(jī)組的主要特點(diǎn)是工作壓力大，排量大，但泵送速度低于高真空泵機(jī)組。它廣泛用于真空泵送和真空吸塵，真空浸漬，真空吸塵，真空脫氣，真空干燥等設(shè)備。低真空泵機(jī)組的主泵是常用的往復(fù)式真空泵，油封真空泵，水射流泵，水蒸汽噴射泵，水環(huán)泵，油蒸汽噴射泵，分子篩吸附泵和羅茨泵。當(dāng)使用低真空泵機(jī)組時(shí)，還必須根據(jù)泵送氣體的清潔度和濕度的工藝要求配置諸如集塵器和干式過濾器的部件。

高真空泵機(jī)組如JZJX，JZJP型羅茨旋片式真空泵機(jī)組。

1選擇主泵，主泵有擴(kuò)散泵，分子泵，濺射離子泵，鈦泵，低溫泵等。

2選擇預(yù)抽泵和儲(chǔ)氣管

超高真空泵機(jī)組

主泵具有極高的真空度，低泄漏率，并且在200至450°C的溫度下耐烘烤。

1擴(kuò)散泵機(jī)組：減少回流和控制污染;

2分子泵機(jī)組：氫壓縮比小，殘余氣體主要為氫氣;

3濺射離子泵機(jī)組：通常與鈦泵配合使用;

4低溫泵機(jī)組：無污染。

由于超高真空泵機(jī)組的高成本，裝配結(jié)構(gòu)更加嚴(yán)格，現(xiàn)在正由羅茨旋片式真空泵機(jī)組取代。但是，在極其嚴(yán)格的工作環(huán)境要求下，還有另一個(gè)量化需求。