真空機(jī)組是一系列支撐真空泵真空輔助結(jié)構(gòu)中，各種配管，集成傳感器，真空計(jì)，測量裝置，電氣控制系統(tǒng)，這取決于指定的主泵，到真空低真空應(yīng)用機(jī)組的類型，真空泵機(jī)組，高和超高真空機(jī)組真空機(jī)組。

1.低真空設(shè)備是采礦大氣式真空泵的大致直的行，正排量往復(fù)式泵，水泵，機(jī)械密封的泵，螺旋真空泵，真空泵，以及濕式噴射泵，分子篩吸附泵等，一工作高壓的低真空機(jī)組，大的位移，用于真空輸送，真空浸漬，真空過濾，真空脫氣真空干燥機(jī)等。

2.大部分的真空機(jī)組羅茨真空泵機(jī)械密封，羅茨真空泵的諸如水的組合和雙環(huán)羅茨真空泵。用無油螺桿真空泵被廣泛使用，羅茨真空泵無油螺桿真空機(jī)組被逐漸增加，需要高的泵送速度和獲得的各種真空真空系統(tǒng)，例如，應(yīng)用程序，如涂層機(jī)，真空熔煉真空熱處理和醫(yī)藥化學(xué)品，電焊接等行業(yè)。

3.以高真空機(jī)組分子流狀態(tài)工作，該范圍內(nèi)的操作壓力10-2?10-6Pa，小排量，泵送速度，泵的主要擴(kuò)散泵，分子泵，鈦升華泵系，如在低溫冷凝泵不會在空氣直接工作，必須在泵之前被配置等是預(yù)先泵送，并且泵被保持為油箱被進(jìn)一步配置，以防止空氣的壓力波動。

4.在超高真空機(jī)組10-6?10-10Pa的壓力范圍，限制到主真空泵10-7?10-8Pa以上時，壓力范圍，以確保由一個材料構(gòu)成的系統(tǒng)的適當(dāng)?shù)某樗倌軌虺惺?00?450℃焙燒在高溫下的要求，并確保低泄漏率和空氣的速度。

真空機(jī)組系統(tǒng)是一個真空機(jī)組密鑰參數(shù)“的真空度”，“流”的數(shù)據(jù)，例如實(shí)時監(jiān)測，自動調(diào)整，如“真空包裝”完成“，自動定時關(guān)機(jī)，啟動”定時定量‘像稱為真空系統(tǒng)控制系統(tǒng)真空過濾’功能。

真空機(jī)組作為與智能自動化，已以電子，半導(dǎo)體元件組件，汽車組件，自動搬運(yùn)機(jī)械，輕工機(jī)械，醫(yī)療設(shè)備，印刷機(jī)械，塑料機(jī)械，包裝機(jī)械，鍛壓機(jī)械，機(jī)器人等許多系統(tǒng)中的裝置在廣泛的應(yīng)用領(lǐng)域的各個方面。