眾所周知，半導(dǎo)體工藝水平?jīng)Q定了晶體管尺寸大小。在半導(dǎo)體廠或光電廠中，真空系統(tǒng)應(yīng)用于提供制程設(shè)備的真空吸盤或吸筆來搬運傳送晶片或玻璃，為半導(dǎo)體制程中相當(dāng)重要之支援系統(tǒng)。本篇文章涉及半導(dǎo)體制程技術(shù)領(lǐng)域，在介紹真空系統(tǒng)在半導(dǎo)體制程中的應(yīng)用之前，打算先對半導(dǎo)體制程和真空系統(tǒng)做些簡單的介紹。

　　在真空系統(tǒng)中，真空針對大氣而言，表示一特定空間或系統(tǒng)內(nèi)部分氣體被排出，其內(nèi)部空間的壓力小于大氣壓力，則稱此空間為真空或為真空狀態(tài)，簡單言之，空間內(nèi)壓力低于一大氣壓力即為真空。在高科技制程中所要求的高真空或超高真空，就必須要有足夠的真空技術(shù)或設(shè)備才能達(dá)成。

　　半導(dǎo)體制程專用真空系統(tǒng)的真空度要求一般為700-~500mmHg之間，僅落在粗略真空范圍內(nèi)，而制程設(shè)備真空度要求則視其應(yīng)用范圍而定，而落在中真空度與超高真空度或以上之范圍。

　　不同類型的真空泵組合而成的系統(tǒng)，真空度也有所不一樣，關(guān)于真空系統(tǒng)的類型，整理出幾大類。

　　1.低真空系統(tǒng)

　　2.中真空系統(tǒng)

　?、儆?a data-mid="159" href="http://www.zlgi.cn/a/3661.html">羅茨泵為主泵串聯(lián)機(jī)械泵而構(gòu)成的系統(tǒng);

　?、谟捎驮鰤罕脼橹鞅么?lián)機(jī)械泵而構(gòu)成的系統(tǒng);

　?、塾闪_茨泵串聯(lián)小羅茨泵，再串聯(lián)機(jī)械泵而構(gòu)成的系統(tǒng)。

　　3.高真空系統(tǒng)

　?、儆蓴U(kuò)散泵為主泵串聯(lián)羅茨泵，再串聯(lián)機(jī)械泵而構(gòu)成的系統(tǒng);

　　②由擴(kuò)散泵為主泵串聯(lián)機(jī)械泵而構(gòu)成的真空系統(tǒng);

　?、塾蓴U(kuò)散泵為主泵串聯(lián)油增壓泵，再串聯(lián)機(jī)械泵而構(gòu)成的真空系統(tǒng)。

　　上述的內(nèi)容，在半導(dǎo)體制造過程中，是選擇高真空系統(tǒng)的應(yīng)用的最佳方法中，在高真空系統(tǒng)可以是不同的真空設(shè)備的組合在一起。

　　事實上一個簡單的真空系統(tǒng)只能夠獲得粗真空，并且期望得到高的真空，典型地串聯(lián)在真空系統(tǒng)中的高真空泵，如羅茨泵螺桿泵得到和高真空泵。當(dāng)串聯(lián)連接的高真空泵，通常與入口和出口閥在高真空泵相結(jié)合，高真空泵單獨保持真空。如果一系列高真空泵是油擴(kuò)散泵，以防止回流到容器被抽空大量油蒸氣的，通常是在擴(kuò)散泵油的入口添加陷阱 - 水冷擋板。該請求還可以增加一個線路濾波器，真空計頭繼電器，連接真空泵吹掃閥入口，散熱器等的真空軟管，這構(gòu)成了更完整的高真空系統(tǒng)。