單級旋片真空泵只有一工作室。該泵主要由定子、旋片和轉子組成。轉子偏心安裝在泵腔內,轉子槽內安裝有雙個旋轉板,由于彈簧彈力,轉子槽靠近氣缸壁(旋轉后旋片的離心力也是如此)。轉子和轉子把定子腔分成雙部分:吸入和排出。
當轉子在定子腔內旋轉時,進氣口的容積逐漸膨脹,吸入氣體,排氣口的'一'側的容積逐漸減小,以壓縮吸入的氣體,并將其從排氣門排出。
排氣閥浸入油中,以防止空氣流入泵中。真空泵油通過油孔和排氣閥進入泵腔,使得泵腔內的所有運動表面均由油覆蓋,并形成吸入腔與排氣腔之間的密封。
為了提高真空泵的真空極限,除了提高泵體、轉子和轉子的加工精度,最大限度地減小裝配間隙和有害空間外,最有效的方法是將雙臺單級泵串聯(lián)成一臺雙級泵。
水泵由雙個工作室組成。雙個腔室串聯(lián)在一起,以相同的速度在同一方向旋轉。A室是B室的前級,A室是低真空級,B室是高真空級。吸入的氣體通過高真空級(室B)進入前級,并通過排氣閥從泵中排出。前級(A)和單級泵一型,油隨時進入泵腔,而高真空級(B)在工作開始時只有少量油,工作一期后,沒有油進入泵腔。當泵開端事情,且吸入氣體的壓力較高時(例如從大氣壓力開端抽氣),氣體經B室收縮,壓力急增,則被壓縮的氣體的一部分直接從輔助排氣閥(1)排出,另一部分則經由前級排出。
當真空泵工作一段時候后,B室吸入的氣體壓力較低時,雖經B室的收縮,壓力也達不到一個大氣壓以上,排不開輔佐排氣閥(1),則吸入的氣體全數(shù)進入前級A室,經A室的繼續(xù)壓縮,由排氣閥(3)排出。
真空泵工作一段時間后,由于高真空級進氣的壓力大大降低,雙級泵的出口壓力也很小,所以B室的進、出口壓差也很小,壓縮氣體回流的次數(shù)也相應減少;同時,前級A室不斷將后級泵中的蒸發(fā)油分子抽出,降低了油蒸氣的分壓,使雙級泵的油污比單級泵小,極限真空度將大大提高。國前的雙級旋片真空泵的極限壓力可10-2pa,外洋有的泵可達到10-3Pa。