隨著在屏幕閱讀的幻想未來(lái),顯示面板行業(yè)的高速發(fā)展。面板的制造過(guò)程非常復(fù)雜。從玻璃基板到成品至少需要300道工序。整個(gè)過(guò)程需要在無(wú)塵的環(huán)境和精確的技術(shù)過(guò)程中進(jìn)行。因此,在面板生產(chǎn)過(guò)程中,高度可靠的真空供應(yīng)尤為重要。平板顯示器廠家現(xiàn)在使用干螺桿真空泵技術(shù)為其高負(fù)荷L/L,CVD,PVD,刻蝕,溶劑蒸發(fā)工藝提供真空。本文旨在介紹下螺桿真空泵在平板顯示器中的應(yīng)用。
平板顯示器(FPD)的制造過(guò)程需要真空和減排設(shè)備,這些設(shè)備可以支撐大型處理室并以最大的可靠性提供高氣體流量。需要真空設(shè)備來(lái)泵送有毒,自燃性和腐蝕性氣體,并處理在處理室中形成的大量固體處理副產(chǎn)物。
為什么選擇平板顯示器的螺桿真空泵?
選擇干式螺桿真空泵的原因?qū)嶋H上與其產(chǎn)品特性有關(guān)。它具有以下三個(gè)優(yōu)點(diǎn):
1、高可靠性
干式螺桿真空泵由于其成熟的雙螺桿設(shè)計(jì)和智能的溫度管理而特別高效。這些真空泵即使在最嚴(yán)苛的應(yīng)用中也能提供高可靠性和長(zhǎng)使用壽命。
2、配備節(jié)能模式功能,可以節(jié)省大量能源
干式螺桿真空泵配備有節(jié)能電機(jī)和世界先進(jìn)的節(jié)能模式功能??刂葡到y(tǒng)可根據(jù)需求自動(dòng)調(diào)整為節(jié)能模式,并在需要時(shí)恢復(fù)至最大抽氣模式,從而節(jié)省了大量能源。
3、最小化維護(hù)和運(yùn)營(yíng)成本
它的一小部分部件(包括轉(zhuǎn)子)都是一件式的。得益于其模塊化設(shè)計(jì)以及獨(dú)立的羅茨泵和螺桿泵機(jī)架,它易于安裝和維護(hù),大大降低了大修成本。由于優(yōu)化的空間設(shè)計(jì)和節(jié)能潛力,真空泵的運(yùn)行成本較低。
由多個(gè)干式螺桿真空泵與羅茨泵組成的真空系統(tǒng)是平板顯示器應(yīng)用的最佳解決方案,例如快速排空以進(jìn)入腔室,排空過(guò)渡腔室和薄膜沉積腔室。在相同類型的泵中,它們提供最快的泵送時(shí)間和最快的泵送速度。通過(guò)標(biāo)準(zhǔn)化設(shè)計(jì),真空使系統(tǒng)提供了極大的用戶友好性。用戶還可以受益于標(biāo)準(zhǔn)化的接口,例如電氣連接,吹掃氣體和冷卻水,方便的設(shè)備維護(hù)以及優(yōu)化的泵管理。
以上是螺桿真空泵在平板顯示器中的應(yīng)用,如果您想了解更多,可以聯(lián)系我們公司。根據(jù)CVD,PVD,刻蝕,PR涂層,盒成型,OLED蒸發(fā),包裝,離子注入等不同的工藝要求,我們可以為客戶定制專業(yè)的真空解決方案。