工作在10-5Pa以上的超高真空機(jī)組具有擴(kuò)散泵，分子泵超高真空機(jī)組和無(wú)油超高真空機(jī)組。該機(jī)組具有以下特征:
1.主泵的最高真空度很高，在10-7?10-8pa以上。
2.可以承受200?450°C的高溫烘烤。
3.主泵回油的分壓非常低。
4.對(duì)泵送氣體具有較強(qiáng)選擇性的主泵應(yīng)配備足夠大的輔助泵。
5.要求真空室，管道，閥等的材料的氣體輸出率低，氣體泄漏率小。
(1)擴(kuò)散泵超高真空機(jī)組以擴(kuò)散泵為主泵的超高真空機(jī)組的極限真空度為10-7?10-8Pa。
為了減少來(lái)自擴(kuò)散泵前級(jí)的氣體向后擴(kuò)散和機(jī)械泵油的反向擴(kuò)散對(duì)極限真空的影響，可以在前級(jí)使用抽速小的擴(kuò)散泵降低擴(kuò)散泵的壓縮比，減少小擴(kuò)散。如果將鈦升華捕集器添加到擴(kuò)散泵的入口，則可以進(jìn)一步降低來(lái)自擴(kuò)散泵的氮?dú)獾姆謮?，并且可以獲得10-11 Pa的超高真空。
(2)分子泵超高真空機(jī)組以分子泵為主泵的超高真空機(jī)組的極限真空度為10-8Pa，具有啟動(dòng)快，油污少的特點(diǎn)。
增加機(jī)組中的液氮捕集器可以提高抽速。水冷疏水閥位于機(jī)械泵的出口，以防止油蒸氣進(jìn)入系統(tǒng)。
(3)無(wú)油超高真空機(jī)組不使用油作為工作流體且未用有機(jī)材料密封的真空機(jī)組稱為無(wú)油超高真空機(jī)組。常用的主泵有低溫泵，鈦泵，濺射離子泵等，它們可以達(dá)到10-7?10-8Pa的極限真空度。與抽油機(jī)相比，具有以下優(yōu)點(diǎn):
1.可獲得清潔的真空，無(wú)污染源。
2.當(dāng)啟動(dòng)無(wú)油真空泵時(shí)，可以將預(yù)抽泵隔離。
3.如果抽水突然停止，則不會(huì)污染系統(tǒng)。
4.無(wú)油，無(wú)聲音，無(wú)振動(dòng)，改善了工作環(huán)境。
5.極限真空度高，抽速大，抽氣時(shí)間短。
