概述螺桿真空泵設備是一種大批量產(chǎn)品，它是真空工程必不可少的基本組件。近年來，隨著真空技術應用的不斷擴大，各種螺桿真空泵設備的增長也非常迅速。為了滿足真空應用發(fā)展的需要，特別是老產(chǎn)品不斷更新，新產(chǎn)品不斷出現(xiàn)，真空設備的開發(fā)進入了一個新時代。其特點是：減少泵的振動和噪音，提高長期運行的可靠性，處理大量的可凝性和揮發(fā)性氣體，減少能耗和運行成本，消除廢液處理和環(huán)境污染;需要耐腐蝕，耐灰塵和清潔，無油的真空環(huán)境。

　　根據(jù)上述要求，獲得真空，以使設備制造商不斷改進舊產(chǎn)品的特性。例如，滑閥泵具有抽速大，性能穩(wěn)定和耐用的特點，但是其運動部件的慣性力和慣性矩引起的振動一直引起人們的關注。 羅茨泵在清潔或腐蝕過程中的應用在半導體，平板顯示器，薄膜太陽能電池和其他工作條件非常惡劣的行業(yè)中，大多數(shù)設備都使用由羅茨真空泵和干式螺桿真空泵組成的真空裝置。一方面，可以減小干式螺桿真空泵的尺寸，可以提高中真空范圍內(nèi)裝置的抽速，并且可以將極限真空度提高一個數(shù)量級。

　　根據(jù)羅茨泵的泵送機構，原則上應無油，但是羅茨泵的轉(zhuǎn)子必須由軸承和精密同步齒輪支撐，這需要潤滑系統(tǒng)。當真空系統(tǒng)去除腐蝕性氣體或蒸氣時，潤滑油也可能被腐蝕。

　　該密封件具有五點機械密封件，也就是說，除了電動真空機輸入處的機械密封件外，其他四個機械密封件也用作泵室和燃油箱之間的密封件。完全機械密封的羅茨真空泵特別適合工藝氣體具有高腐蝕性的應用。為了防止腐蝕，必須對羅茨泵暴露于工藝氣體的表面進行涂層(Ni0.076mm + Cr0.005mm)，并且所有密封材料均為全氟橡膠。

　　此外，真空泵制造商會繼續(xù)根據(jù)需要開發(fā)新產(chǎn)品，而干式螺桿真空泵已成為真空設備行業(yè)中最熱門的地方。螺桿真空泵是1990年代出現(xiàn)的理想的干式螺桿真空泵。結(jié)構緊湊，抽速高，真空度高，空氣直通，工作部件無摩擦，使用壽命長。由于泵室內(nèi)沒有油和水，因此沒有油蒸氣排放和廢液處理的問題，因此它是本世紀環(huán)境保護的首選。

　　螺桿真空泵的工作原理是一對同步齒輪帶動一對反向旋轉(zhuǎn)的螺桿保持一定的間隙，實現(xiàn)非接觸式嚙合。為了減少泄漏，要求螺釘?shù)募庸ぞ容^高。該泵可以處理一定量的含有微小顆粒的液體和工藝氣體，非常適合半導體，太陽能膜，化學，制藥和其他應用。