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水環(huán)真空泵使用注意事項

  水環(huán)真空泵是使用液體作為工作介質(zhì)的粗泵。水被用作工作介質(zhì),稱為水環(huán)真空泵。其他人可以使用油,硫酸和乙酸作為工作介質(zhì)。工業(yè)水環(huán)真空泵的應(yīng)用大部分。

  使用真空泵時,需要注意以下事項:

  1、真空泵的工作壓力應(yīng)滿足真空設(shè)備的極限真空和工作壓力要求。例如,真空鍍膜需要的真空度為1 × 10-5mmHg,所選真空泵的真空度必須至少為5 × 10-6mmHg。通常將泵的真空選擇為比真空設(shè)備的真空高一半數(shù)量級。

  2、正確選擇真空泵的工作點。每個泵都有一定的工作壓力范圍,例如:擴散泵為10-3?10-7mmHg。在如此寬的壓力范圍內(nèi),泵的抽速隨壓力而變化,其穩(wěn)定的工作壓力范圍為5 × 10-4?5 × 10-6mmHg。因此,泵的工作點應(yīng)在此范圍內(nèi)選擇,并且不應(yīng)在10-8mmHg的環(huán)境下長時間工作。另一個例子是鈦熱升華泵可以在10-2mmHg的壓力下工作,但其工作壓力應(yīng)小于1020mm 10-5mmHg。

  3、真空泵應(yīng)該能夠在真空設(shè)備的工作壓力下清除真空設(shè)備過程中產(chǎn)生的所有氣體。

  4、正確組合真空泵。由于真空泵具有選擇性泵送功能,因此有時一個泵無法滿足泵送要求,因此需要組合多個泵以相互補充才能滿足泵送要求。例如,鈦升華泵對氫的抽吸速度很高,但是不能被抽吸,而三極濺射離子泵(或兩極非對稱陰極濺射離子泵)對于氬氣則具有一定的抽吸速度。當結(jié)合使用時,真空裝置將具有更好的真空度。另外,有些真空泵不能在大氣壓下工作,需要預(yù)真空。一些真空泵的出口壓力低于大氣壓,因此需要前級泵,因此必須將這些泵組合在一起。

  5、真空設(shè)備油污的要求。如果嚴格要求設(shè)備無油,則應(yīng)選擇各種無油泵,例如:水環(huán)泵,分子篩吸附泵,濺射離子泵,低溫泵等。如果要求不嚴格,則應(yīng)可以選擇擁有一個油泵,再加上一些油污染的措施,例如增加冷阱,擋板,油阱等,也可以達到清潔真空的要求。

  6、了解要泵送的氣體的成分。該氣體不包含可冷凝的蒸氣,粉塵和腐蝕性。選擇真空泵時,您需要了解氣體成分并為泵送的氣體選擇合適的泵。如果氣體中包含蒸氣,顆粒和腐蝕性氣體,請考慮在泵的入口管道上安裝輔助設(shè)備,例如冷凝器,集塵器等。

  7、真空泵中的油蒸氣如何影響環(huán)境?如果環(huán)境不允許污染,則可以選擇無油真空泵或?qū)⒂驼魵馀欧诺酵獠俊?/p>

  8、真空泵運行期間產(chǎn)生的振動對過程和環(huán)境沒有影響。如果過程不允許,請選擇無振動的泵或采取防振措施。

  9、真空泵的價格,運行和維護成本。

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