由于各種真空泵的性能可以滿足抽真空容器的共同點,因此仍然存在差異。因此,必須明確選擇在真空泵系統(tǒng)中承擔(dān)的任務(wù)是非常重要的,在泵的各個工作領(lǐng)域中的作用可以歸納為以下幾個方面。
1、系統(tǒng)中的主泵
所謂的主泵是一種真空泵,它直接排空真空系統(tǒng)以獲得滿足工藝要求所需的真空。
2、粗抽泵
粗抽泵是一種真空泵,它開始從大氣壓力降低真空系統(tǒng)的壓力,直到另一個泵系統(tǒng)開始工作。
3、前級泵
前級泵是用于將另一個泵的前級壓力保持在其最大允許前級壓力以下的真空泵。
4、維持泵
以維持泵,這意味著當(dāng)真空系統(tǒng)的吸力很小時,主前級泵無法得到有效利用。為此,在真空系統(tǒng)中另外設(shè)置了具有較低抽速的輔助前泵,以維持主泵的正常運行或維持排空容器所需的低壓真空泵。
5、粗真空泵或低真空泵
粗真空泵是從大氣開始并降低泵送容器壓力的真空泵,以在低真空或粗真空壓力范圍內(nèi)工作。
6、高真空泵
高真空泵是在高真空范圍內(nèi)運行的真空泵。
7、超高真空泵
超高真空泵是指在超高真空范圍內(nèi)運行的真空泵。
8、增壓泵
增壓泵通常是真空泵,在低真空泵和高真空泵之間運行,以增加中壓范圍內(nèi)泵系統(tǒng)的泵送能力或降低前級泵的泵送速度。