1、真空泵的工作壓力應(yīng)滿足真空設(shè)備的極限真空和工作壓力要求。例如，真空鍍膜要求的真空度為1 × 10-5mmHg，所選真空泵的真空度必須至少為5 × 10-6mmHg。通常將泵的真空選擇為比真空設(shè)備的真空高一半數(shù)量級(jí)。

　　2、正確選擇真空泵的工作點(diǎn)。每個(gè)泵都有一定的工作壓力范圍，例如：擴(kuò)散泵為10-3?10-7mmHg。在如此寬的壓力范圍內(nèi)，泵的抽速隨壓力而變化，其穩(wěn)定的工作壓力范圍為5 × 10-4?5 × 10-6mmHg。因此，泵的工作點(diǎn)應(yīng)在此范圍內(nèi)選擇，并且不應(yīng)在10-8mmHg的環(huán)境下長(zhǎng)時(shí)間工作。另一個(gè)例子是鈦熱升華泵可以在10-2mmHg的壓力下工作，但其工作壓力應(yīng)小于10-20mm 10-5mmHg。

　　3、真空泵應(yīng)該能夠在真空設(shè)備的工作壓力下清除真空設(shè)備過(guò)程中產(chǎn)生的所有氣體。

　　4、正確組合真空泵。由于真空泵具有選擇性泵送功能，因此有時(shí)一個(gè)泵無(wú)法滿足泵送要求，因此需要組合多個(gè)泵以相互補(bǔ)充才能滿足泵送要求。例如，鈦升華泵對(duì)氫的抽吸速度很高，但是不能被抽吸，而三極濺射離子泵(或兩極非對(duì)稱陰極濺射離子泵)對(duì)于氬氣則具有一定的抽吸速度。當(dāng)結(jié)合使用時(shí)，真空裝置將具有更好的真空度。另外，有些真空泵不能在大氣壓下工作，需要預(yù)真空。一些真空泵的出口壓力低于大氣壓，因此需要前級(jí)泵，因此必須將這些泵組合在一起。

　　5、真空設(shè)備油污的要求。如果嚴(yán)格要求設(shè)備無(wú)油，則應(yīng)選擇各種無(wú)油泵，例如：水環(huán)泵，分子篩吸附泵，濺射離子泵，低溫泵等。如果要求不嚴(yán)格，您可以選擇擁有一個(gè)油泵，再加上一些油污染措施，例如添加冷阱，擋板，油阱等，也可以達(dá)到清潔真空的要求。

　　6、了解要泵送的氣體的成分。該氣體不包含可冷凝的蒸氣，粉塵和腐蝕性。選擇真空泵時(shí)，您需要了解氣體成分并為泵送的氣體選擇合適的泵。如果氣體中包含蒸氣，顆粒和腐蝕性氣體，請(qǐng)考慮在泵的入口管道上安裝輔助設(shè)備，例如冷凝器，集塵器等。

　　7、真空泵中的油蒸氣如何影響環(huán)境?如果環(huán)境不允許污染，則可以選擇無(wú)油真空泵或?qū)⒂驼魵馀欧诺酵獠俊?/p>

　　8、真空泵運(yùn)行期間產(chǎn)生的振動(dòng)對(duì)過(guò)程和環(huán)境沒(méi)有影響。如果過(guò)程不允許，請(qǐng)選擇無(wú)振動(dòng)的泵或采取防振措施。

　　9、真空泵的價(jià)格，運(yùn)行和維護(hù)成本。