真空機組由一系列輔助真空輔助設備組成，例如真空泵，各種管道，集成傳感器，真空計，測量設備和電氣控制系統(tǒng)。根據(jù)主泵的類型命名。根據(jù)真空應用范圍分為低真空機組。中真空泵機組，高真空機組和超高真空機組。

　　1)低真空機組通常使用直線型大氣真空泵，例如正排量往復泵，水環(huán)泵，油封機械泵，螺桿真空泵，濕根泵，噴射泵和分子篩吸附泵。工作壓力高，排氣量大，主要用于真空干燥機的真空輸送，真空浸漬，真空過濾，真空脫氣等。

　　2)中型真空機組由羅茨真空泵 +油封機械泵，羅茨真空 + 水環(huán)真空泵和雙羅茨真空泵組成。隨著無油螺桿真空泵的廣泛使用，無油真空機組(如羅茨真空泵 +螺桿真空泵)逐漸增加，適用于需要大抽速和中等真空度的各種真空系統(tǒng)，例如涂布機，真空冶煉，真空熱處理，醫(yī)藥化工，電焊等行業(yè)。

　　3)高真空機組以分子流狀態(tài)工作，工作壓力范圍為10-2?10-6Pa，排量小，抽速大。主泵主要是擴散泵，分子泵和鈦升華泵。冷凝泵不能直接在大氣中工作，因此必須配置前級泵，預吸泵等。為防止氣壓波動，還必須配置維護泵和儲氣罐。

　　4)超高真空機組的壓力范圍為10-6?10-10Pa，主泵的極限真空度必須在10-7?10-8Pa以上。必須在壓力范圍內(nèi)保證相應的抽速。在200?450℃高溫下烘烤，確保低漏氣率和出氣率。

　　真空機組系統(tǒng)將監(jiān)視并自動調(diào)整真空機組的關鍵參數(shù)，例如“真空度(負壓或加壓)”，“ 流量”以及其他數(shù)據(jù)，例如“真空保持壓力”，“自動定時關機”諸如啟動，定時和定量真空過濾之類的功能控制系統(tǒng)稱為真空系統(tǒng)。

　　作為實現(xiàn)智能自動化的一種手段，真空機組和真空系統(tǒng)已用于電子，半導體組件裝配，汽車裝配，自動裝卸機械，輕工業(yè)機械，醫(yī)療機械，印刷機械，塑料制品機械，包裝機械，鍛造機械，機器人等等。它在許多方面得到了廣泛的使用。