新型綠色真空泵可以處理包含可冷凝蒸汽的氣體,包含細(xì)顆粒但不殘留在泵中的氣體。易損件少,真空度高,抽速高,壽命長。用于醫(yī)學(xué)上.
大規(guī)模集成電路生產(chǎn)需要很大的市場。以前,中國使用的干式螺桿真空泵始終依靠進(jìn)口的磁力泵,只有國際上可以生產(chǎn),例如美國、日本、德國、英國和韓國。
干式螺桿真空泵是一項(xiàng)高科技產(chǎn)品,主要用于高純度真空工藝中。
并可以達(dá)到很高的真空度;特別適用于電子,化學(xué)和生物醫(yī)學(xué)行業(yè)。與其他類型的干泵相比,干式螺桿真空泵具有更高的效率和更低的能耗。
干式螺桿真空泵在制藥,化工,涂料,半導(dǎo)體等行業(yè)具有廣泛的應(yīng)用
干式螺桿真空泵性能特點(diǎn)
1、工作室內(nèi)沒有介質(zhì),可以得到干凈的真空。
2、工作腔和螺桿轉(zhuǎn)子的表面均具有抗腐蝕涂層,可適應(yīng)惡劣的工作條件。
3、氣體未在泵中壓縮,適合于泵送可凝性氣體
4、單個(gè)泵可以從大氣中抽氣至1Pa,并且可以大大簡化真空系統(tǒng)。
5、水溫對真空的影響很小,可以節(jié)省90%以上的水,甚至不消耗水。
6、無油耗,無滴落。
7、旋轉(zhuǎn)部件之間沒有摩擦,可以高速運(yùn)行,并且整機(jī)尺寸很小。
8、結(jié)構(gòu)簡單,易于維護(hù)。
9、直接泵出泵體,不污染水和環(huán)保壓力,氣體回收更加方便。
10、可與羅茨泵和分子泵結(jié)合使用,形成無油裝置。
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