水環(huán)式真空泵的應(yīng)用優(yōu)勢(shì)
1、 水環(huán)式真空泵的工作壓力應(yīng)滿足真空設(shè)備的極限真空和工作壓力要求。例如,真空涂層要求的真空度為110-5mmHg,所選的水環(huán)式真空泵的真空度應(yīng)至少為510-6mmHg。通常,所選泵的真空度比真空設(shè)備的真空度高一半至一個(gè)數(shù)量級(jí)。
2、正確選擇水環(huán)式真空泵的工作點(diǎn)。每個(gè)泵都有一定的工作壓力刻度。例如,分散泵為10-3?10-7mmHg。在如此寬的壓力范圍內(nèi),泵的抽速隨壓力而變化。約510-6mmHg。因此,泵的工作點(diǎn)應(yīng)在此范圍內(nèi)選擇,并且不應(yīng)長(zhǎng)時(shí)間在10-8mmHg下工作。另一個(gè)例子是鈦提升泵可以在10-2mmHg的壓力下工作,但其工作壓力應(yīng)小于110-5mmHg。
3、 水環(huán)式真空泵應(yīng)能夠在其工作壓力下清除真空設(shè)備技術(shù)期間產(chǎn)生的所有氣體。
4、 水環(huán)式真空泵已正確組合。由于水環(huán)型真空泵具有選擇性泵送功能,因此有時(shí)不能使用泵來(lái)滿足泵送要求。需要將多個(gè)泵組合在一起以相互補(bǔ)充,以滿足泵送要求。例如,鈦可以提高泵對(duì)氫氣的泵浦速度,但不能泵浦氦氣,而三極濺射離子泵(或兩極非對(duì)稱陰極濺射離子泵)對(duì)于氬氣則具有一定的泵浦速度。結(jié)合起來(lái),真空設(shè)備將獲得更好的真空度。另外,某些水環(huán)型真空泵不能在大氣壓下運(yùn)行,需要預(yù)真空。一些水環(huán)型真空泵的出口壓力低于大氣壓,并且需要前級(jí)泵,因此需要結(jié)合使用。
5、要求真空設(shè)備造成油污染。如果設(shè)備嚴(yán)重要求無(wú)油,則應(yīng)選擇各種無(wú)油泵,例如:水環(huán)泵,分子篩吸附泵,濺射離子泵,低溫泵等。如果要求不嚴(yán)格,則可以選擇加油泵并添加一些防止油污的方法,例如添加冷阱,擋板,油阱等,并且還可以達(dá)到真空清潔的要求。
6、了解要泵送的氣體的成分。該氣體不包含可冷凝蒸氣,是否有顆?;覊m以及是否具有腐蝕性。選擇水環(huán)式真空泵時(shí),您需要了解氣體成分,并為要泵送的氣體選擇合適的泵。如果氣體中包含蒸氣,顆粒和腐蝕性氣體,則應(yīng)考慮在泵的入口管上安裝輔助設(shè)備,例如冷凝器和集塵器。
7、 水環(huán)式真空泵的油蒸氣對(duì)環(huán)境有何影響?如果環(huán)境不允許污染,則可以選擇無(wú)油的水環(huán)式真空泵,并可能將油蒸氣排放到室外。
8、 水環(huán)式真空泵運(yùn)行期間的振動(dòng)不會(huì)影響技術(shù)過(guò)程和環(huán)境。如果技術(shù)過(guò)程不允許,則應(yīng)選擇無(wú)振蕩的泵,并應(yīng)采用防振蕩的方法。
9、 水環(huán)式真空泵的價(jià)格,運(yùn)行和維護(hù)費(fèi)用。
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