對于組成羅茨螺桿真空機(jī)組,羅茨泵與前級泵的泵速比選擇非常重要。因?yàn)榱_茨泵的壓縮比非常有限。該壓縮比決定了前一級泵的容量,因?yàn)閴嚎s比與泵送速度成反比。壓縮比選擇在2~10之間。此外,應(yīng)考慮要求進(jìn)行預(yù)退出。
真空設(shè)備是作為各種機(jī)械設(shè)備中使用的輔助設(shè)備。如果時間在正常操作中比預(yù)泵時間好得多,則可以選擇較小的預(yù)泵(壓縮比可以更大)。如果真空密封性較大,并且要求很快被預(yù)泵送,將使用更大的預(yù)泵送。有時,為了充分發(fā)揮設(shè)備的效率,在機(jī)組前面安裝一個較大的前置泵,在正常運(yùn)行后停止,使用一個較小的前置泵保持來節(jié)省功率。
選擇前級泵時,還需要考慮羅茨真空機(jī)組極限壓力的要求。對于極限真空度較高的要求(最高1× 10-3帕~ 1× 10-2帕壓力)一般,選用雙級旋葉油封機(jī)械泵或雙級滑燕機(jī)械泵作為前級泵。極限真空度要求在(1× 10-2Pa ~ 1× 10-1Pa)之間可選用單級油封機(jī)械泵作為前置泵,極限真空度要求在133-1333 Pa之間可選用往復(fù)真空泵或液環(huán)真空泵作為前置泵。
當(dāng)選擇往復(fù)式或液環(huán)式粗真空泵作為羅茨真空泵作為前級泵時,前級泵的泵速一般為羅茨真空泵的1/2-1/4,不能過大,否則壓縮比過大,導(dǎo)致羅茨真空泵排氣溫度高,不能工作正常。還需要考慮泵送氣體中的是否是否含有腐蝕性介質(zhì),以及是否是否含有大量或微量的可冷凝氣體。
如果含有腐蝕性氣體,不能選用油封機(jī)械泵。油封機(jī)械泵不適合去除含有大量可冷凝蒸汽的氣體,否則密封液會迅速乳化。去除含有微量可冷凝蒸汽的氣體時,還需要選擇帶氣體壓載裝置的油封機(jī)械泵作為前置泵。
為了在低入口壓力(1-100帕)獲得高泵送速率,可以使用羅茨真空泵作為的三級或四級單元和另一羅茨真空泵的前級泵組成。此時,羅茨真空泵之間的泵速比一般介于2和5之間。
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