干式真空泵出現(xiàn)得很早，但沒(méi)有明確的定義。更換油封機(jī)械泵通常在10-2 Pa大氣壓的壓力范圍內(nèi)工作。油和液體不能用于泵氣通道(如泵室)，排氣口可以與大氣相通。能夠持續(xù)向大氣中排放空氣的泵稱(chēng)為干式真空泵(也稱(chēng)為無(wú)油真空泵)。

　　市場(chǎng)上有許多類(lèi)型的干式泵。根據(jù)其基本原則，只有兩種類(lèi)型，即：

　　(1)容積式干式真空泵，如多級(jí)羅茨泵、爪式泵、往復(fù)活塞泵、螺桿泵、渦旋泵等。干式泵的極限壓力一般為0.1-10pa，泵速為0.01-0.04m3/s

　　(2)具有動(dòng)量傳遞的無(wú)油真空泵，如渦輪式無(wú)油泵。排氣側(cè)與大氣相通，在連續(xù)流動(dòng)狀態(tài)下壓縮比高。它是一個(gè)原油泵，可以從大氣壓力泵送到1022pa。其結(jié)構(gòu)采用徑向和周向流量泵的復(fù)合結(jié)構(gòu)，并采用多級(jí)串聯(lián)泵送。渦輪泵的極限壓力約為10-2 Pa，泵速為0.02-0.15 m3/s，牽引干式泵也是動(dòng)量轉(zhuǎn)移干式泵。

　　與油封機(jī)械泵相比，干式泵達(dá)到相同的極限壓力，殘余氣體成分完全不同。分析結(jié)果表明，油封泵的殘余氣體CNHM氣體(烴類(lèi)氣體)是主要成分，而干式泵的殘余氣體是空氣成分。這證實(shí)在干式泵的泵送過(guò)程中沒(méi)有油污染。

　　一些干式泵在結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)中仍然使用潤(rùn)滑油，如泵的傳動(dòng)齒輪和軸承，以及合成油，如PFPE油和其他油等。已經(jīng)采取了一些措施來(lái)防止油蒸汽出現(xiàn)在泵室內(nèi)。嚴(yán)格來(lái)說(shuō)，它不是沒(méi)有油泵。然而，經(jīng)過(guò)分析，這種合成油的成分在泵的入口處。它非常小，沒(méi)有效果。

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