半導體真空泵應用注意哪些問題？深圳務明系統(tǒng)集成公司分析，半導體工藝真空主要用于蒸發(fā)、濺射、PECVD、真空干法刻蝕、真空吸附、測試設備、真空清洗等鍵合工藝。半導體生產(chǎn)制造過程中容易產(chǎn)生易燃、易爆、有毒物質(zhì)和氣體，對生產(chǎn)和人員安全構成威脅。因此，半導體真空泵應用中的幾個安全注意事項如下:

　　1.定期清潔真空泵及其他附件、過濾器和管道，以避免過壓

　　在半導體真空泵的應用中，當介質(zhì)在介質(zhì)提取過程中通過反應室和真空泵時，介質(zhì)的組成可能極其復雜。例如，SiH4和O2在泵口形成二氧化硅，而四氯化鈦水解形成氯化氫。假設使用油封機械泵，這些氣態(tài)物質(zhì)也可能與泵油發(fā)生反應。這些變化假設顆粒、可冷凝物或腐蝕性介質(zhì)的形成，可能會堵塞真空泵或管道系統(tǒng)，影響真空泵的性能，導致壓力升高或過壓，并帶來更大的風險。因此，有必要及時清理，必要時設置過濾設備。

　　2.有效稀釋有害氣體的濃度

　　半導體容易產(chǎn)生上述易燃、易爆和有毒有害氣體。因此，在半導體真空泵的應用中，當抽取這些介質(zhì)時，有必要防止真空泵或排氣過程中發(fā)生一些不可控的反應。例如，當與空氣或氧氣接觸時，SiH4、PH3、AsH3、B2H6和其他物質(zhì)會引起燃燒甚至爆炸。當空氣中氫氣的混合比例達到一定程度和溫度時，也會發(fā)生燃燒。這些都取決于物質(zhì)的數(shù)量及其與環(huán)境壓力和溫度的關系。因此，當半導體真空泵提取這些介質(zhì)時，在壓縮前的當前條件下，需要惰性氣體如氮氣將這些氣體稀釋到安全范圍。

　　3.注意氧氣的濃度

　　如果空氣中的氧氣濃度過高，燃燒和爆炸風險也會發(fā)生。因此，在某些情況下，應注意氧氣的濃度，并應使用惰性氣體稀釋它，以防止?jié)舛冗^高。假設油封機械泵可能需要使用一些惰性氧兼容真空泵油，并及時更換濾油器和油品。

　　4.防止溫度過高

　　這一點更容易理解。在半導體在真空泵中的應用中，有許多有害氣體。然而，無論是干式真空泵還是油封機械泵，如果泵腔內(nèi)的溫度過高，易燃、易爆和有毒氣體在高溫下很容易造成危險。

　　當我們使用真空泵時，需要注意導體使用中的安全注意事項，并做好以后的使用工作。

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