羅茨真空泵是一種機械真空泵,具有一對同步高速旋轉的鞋底形轉子。該泵不能單獨泵送空氣。前級需要配備油封、水環(huán)等。直接排放空氣。其結構和工作原理與羅茨鼓風機相似。其吸入口與真空容器或真空系統(tǒng)的主泵相連。真空泵的轉子和轉子之間以及轉子和泵殼之間沒有接觸。
間隙一般為0.1 ~ 0.8毫米;不需要用油潤滑。轉子輪廓包括圓弧、漸開線和擺線。漸開線轉子泵體積利用率高,加工精度容易,因此轉子型線多為漸開線。羅茨真空泵的轉速可達3450~4100轉/分。抽氣速率為30-10000升/秒(1升=10-3米);
羅茨真空泵是一種機械真空泵,具有一對同步高速旋轉的鞋底形轉子。該泵不能單獨泵送空氣。前級需要配備油封、水環(huán)等。直接排放空氣。其結構和工作原理與羅茨鼓風機相似。其吸入口與真空容器或真空系統(tǒng)的主泵相連。真空泵的轉子和轉子之間以及轉子和泵殼之間沒有接觸。
間隙一般為0.1 ~ 0.8毫米;不需要用油潤滑。轉子輪廓包括圓弧、漸開線和擺線。漸開線轉子泵體積利用率高,加工精度容易,因此轉子型線多為漸開線。羅茨真空泵的轉速可達3450~4100轉/分。抽氣速率為30-10000升/秒(1升=10-3米);單級的極限真空為6.5×10-2帕,雙級為1×10-3帕。
羅茨泵的極限真空不僅取決于泵本身的結構和制造精度,還取決于前級泵的極限真空。為了提高泵的極限真空度,羅茨泵可以串聯(lián)使用。羅茨泵的工作原理與羅茨鼓風機相似。由于轉子的連續(xù)旋轉,泵送的氣體從空氣入口被吸入轉子和泵殼之間的空間v0,然后通過空氣出口排出。由于v0空間在吸入后完全關閉,泵室內(nèi)的氣體不會被壓縮和膨脹。然而,當轉子的頂部圍繞排氣口的邊緣轉動并且v0空間與排氣側連通時,由于排氣側的高氣體壓力,一些氣體沖回到空間v0中,導致氣體壓力突然增加。當轉子繼續(xù)旋轉時,氣體離開泵。羅茨泵在泵室中,有兩個“8”形轉子安裝在一對相互垂直的平行軸上,一對傳動比為1的齒輪帶相互反向同步轉動。轉子之間以及轉子與泵殼內(nèi)壁之間保持一定的間隙,從而可以實現(xiàn)高速運轉。
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