真空系統(tǒng)是指通過管道將真空泵、真空計和各種部件以適當?shù)姆绞竭B接起來，達到一定真空度的裝置。真空系統(tǒng)的基本要求是什么?

　　1.在泵送裝置或工作室中獲得所需的極限真空和工作真空

　　極限真空度是指裝置在無泄漏和放氣時達到的真空度，工作真空度是指裝置在進行真空處理時能夠保持的真空度。在真空處理過程中經(jīng)常會釋放出大量的氣體，此時的工作真空度將大大低于極限真空度。極端真空度和工作真空度有其自身的重要性，它們從不同方面影響著器件的質(zhì)量。例如，在使用氧化物陰極裝置的排氣真空系統(tǒng)中，電10-2電極除氣和陰極分解將產(chǎn)生大量除氣。如果工作真空度差，電極可能被氧化，陰極可能活化不好。然而，當裝置最終被密封時，基本上沒有泄漏和放氣，并且裝置中的真空度取決于排氣真空系統(tǒng)的極限真空度。

　　2.獲得一定工作真空度所需的時間

　　這個時間取決于真空系統(tǒng)機組的抽吸速度。提高泵送速度可以縮短這一時間。大型工作室顯然需要大的泵速。有時工作間不大，但由于泄漏和放氣嚴重，真空系統(tǒng)也需要較大的抽氣速度，否則大量的泄漏和放氣會大大降低真空度，使系統(tǒng)無法工作。

　　3.泵送裝置或工作室中有合適的殘留氣體成分

　　實踐證明，僅僅提高和保證極限真空度和工作真空度是不夠的，還需要對殘余氣體成分有一定的要求。例如，對于真空攝像裝置，為了在一年的使用壽命內(nèi)保持靈敏度降低不超過巧合，要求裝置中殘留氣體的氧含量不高于10-2Pa。耐高壓真空開關(guān)管不應(yīng)含有碳氫化合物分子等。如果系統(tǒng)中沒有其他氣源，真空系統(tǒng)的殘余氣體成分主要取決于泵的特性。

　　4.真空系統(tǒng)還必須具有結(jié)構(gòu)簡單、性能可靠、操作維護方便、價格低廉等特點。

　　為了滿足這些要求，必須綜合考慮泵的選擇、管道尺寸的確定和布置以及組裝過程。這些基本要求通常是相互關(guān)聯(lián)的。例如，真空系統(tǒng)中總是有輕微的泄漏，所以泵速高的泵可以獲得比泵速低的泵更好的工作真空度。然而，大型水泵價格昂貴，消耗大量的水和電，所以有一個合理的選擇。微型真空泵適用于儀器和小型真空系統(tǒng)。它們成本低、效率高、噪音低。有些用戶不適合選擇流量較大的工業(yè)真空泵。

　　5.自動化要求

　　隨著計算機技術(shù)的發(fā)展，用戶對真空系統(tǒng)自動化的要求也在不斷提高。對于真空系統(tǒng)，自動控制主要是調(diào)節(jié)真空泵流量和真空度。真空度通常通過調(diào)節(jié)真空泵流量、安裝節(jié)流閥和減壓閥來控制。節(jié)流會導致巨大的能量損失和額外的噪音。最好直接調(diào)節(jié)真空泵的轉(zhuǎn)速。工業(yè)真空泵的調(diào)速方法有很多種，主要分為兩類:第一類是通過附加裝置來改變真空泵的速度，如齒輪箱調(diào)速;第二類是直接改變電機的速度，如可控硅串級調(diào)速、變頻調(diào)速等。目前工業(yè)真空泵常用的方法是變頻調(diào)速，節(jié)能效果好，可以實現(xiàn)無級調(diào)速，調(diào)速比大，調(diào)速準確，速度穩(wěn)定。

　　對于適用于小型真空系統(tǒng)的微型真空泵，過去主要采用減壓調(diào)速。減壓操作的副作用是延長泵和電機的使用壽命。如果泵的負載很大，很容易導致電機在降壓后無法啟動，導致電機溫度下降

　　一般來說，對于具有良好氣密性的真空系統(tǒng)，如果內(nèi)部沒有定期放氣和蒸汽源，則可以使用具有良好最終真空度的較小泵。但是，如果系統(tǒng)的泄漏和放氣更多，必須采用提高泵速的方法來保證系統(tǒng)的真空度。此時，應(yīng)采用泵速較大的泵，并盡可能增加管道的傳導率，即應(yīng)選擇短而粗的管道。