不同的真空系統(tǒng)需要不同的真空度。因此，通常需要用一套真空裝置來完成，即在不同壓力范圍內(nèi)工作的真空泵串聯(lián)起來。

　　高真空側(cè)的真空泵可以達(dá)到系統(tǒng)所需的真空度，而低真空側(cè)的真空泵直接與大氣相通。顯然，最簡單的真空裝置是直接排放空氣的真空泵。然而，高真空系統(tǒng)通常需要三級單元，而中等真空系統(tǒng)通常需要兩級單元。

　　高真空泵和低真空泵難以形成有效的高真空單元。這有幾個(gè)原因。連續(xù)性是其中之一。高真空泵都有前級耐壓的限制，即如果前級高于一定壓力，泵就不能正常工作。然而，當(dāng)當(dāng)前級泵達(dá)到該臨界壓力時(shí)，泵送速度通常會降低，因此前一級泵的廢氣專利復(fù)審3)可能小于主泵的廢氣流量。這種不一致性流量破壞了連續(xù)性流量的要求，并將不可避免地導(dǎo)致真空裝置不能正常工作。然而，如果另一個(gè)真空泵連接在高真空泵和低真空泵之間，它可以作為上下之間的連接，流量是連續(xù)的，并且每個(gè)泵可以在最佳狀態(tài)下工作。羅茨泵可以在中等真空范圍內(nèi)工作，這是最合適的，所以它也被稱為羅茨增壓泵。因?yàn)樗膲嚎s比不高，它可以連接在幾帕到幾百帕的范圍內(nèi)。當(dāng)三級高真空機(jī)組進(jìn)入的真空度相對較高時(shí)，由于主泵的廢氣流量明顯減少，此時(shí)只有較小的前級泵能保持抽氣的連續(xù)性，這是實(shí)際應(yīng)用中經(jīng)常采用的方法，從而降低了機(jī)組的能耗。

　　高真空機(jī)組通常需要三級機(jī)組的另一個(gè)原因是高真空泵的吸入壓力的限制。泵具有初始工作壓力，傳統(tǒng)的高真空泵在幾帕的范圍內(nèi)。因此，在主泵開始工作之前，前級泵必須預(yù)泵至該壓力。然而，直接排放大氣的前級泵通常需要很長時(shí)間來泵送至該壓力，因?yàn)殡S著壓力降低，泵的泵送速度降低，特別是對于周期性泵送空氣的真空單元，需要時(shí)間來達(dá)到工作真空度。預(yù)抽時(shí)間越長，進(jìn)入工作真空度越長，增加一臺真空泵與前級低真空泵配合，可以在短時(shí)間內(nèi)達(dá)到主泵的工作壓力，使系統(tǒng)盡快工作進(jìn)入，保證設(shè)備的使用效率。

　　羅茨泵和油增壓泵都可以用作中型真空泵。分子增壓泵具有非常高的壓縮比，這不僅使其能夠獲得清潔的真空，而且具有優(yōu)異的高真空性能。同時(shí)，它在中等真空范圍內(nèi)也有很強(qiáng)的抽吸能力。這使得分子增壓泵成為目前唯一具有中高真空性能的真空泵，因此只有與低真空泵相匹配，才能形成與三級機(jī)組性能相當(dāng)?shù)母哒婵諜C(jī)組。具體地，因?yàn)榉肿釉鰤罕玫哪蛪盒愿?，所以前級泵可以容易地處于高流量狀態(tài);然而，分子增壓泵的高吸入壓力減緩了前級泵的預(yù)泵送負(fù)載。分子增壓泵可以在100-50Pa下工作。前級泵從大氣到該壓力的壓力基本上遵循每經(jīng)過一段時(shí)間壓力降低一個(gè)數(shù)量級的規(guī)律。因此，該單元可以具有非常高的泵送效率。簡化高真空裝置和取消羅茨泵是分子增壓泵的另一個(gè)優(yōu)點(diǎn)。對于較大的高真空應(yīng)用設(shè)備，前級泵的預(yù)抽能力也可適當(dāng)加強(qiáng)，以進(jìn)一步縮短泵送時(shí)間。由于預(yù)抽時(shí)間與整個(gè)排氣過程相比非常短，所以前級泵的使用時(shí)間也非常短，所以它也可以作為多臺設(shè)備的預(yù)抽功能，這通常是非?，F(xiàn)實(shí)的。這大大簡化了大規(guī)模應(yīng)用的真空裝置。

　　在一些中等真空應(yīng)用中，需要進(jìn)入10-1Pa的范圍，這對于羅茨泵的次級單元來說通常是難以實(shí)現(xiàn)的。然而，使用與兩級羅茨泵串聯(lián)的三級單元可以將真空度增加一個(gè)數(shù)量級，并且進(jìn)入10-1Pa。因此，三級裝置也常用于中等真空應(yīng)用。由于分子增壓泵能以10-1Pa的全速泵送，它也能代替三級介質(zhì)真空裝置中的兩級羅茨泵。一般來說，分子增壓泵可以完全取代在中真空低壓范圍內(nèi)長期工作的羅茨泵泵。但是，在介質(zhì)真空的高端壓力范圍內(nèi)長時(shí)間工作的羅茨泵應(yīng)該比較少，因?yàn)樵谶@個(gè)壓力范圍內(nèi)的前置泵往往具有很強(qiáng)的泵送速度。