旋片真空泵是一種油封式機(jī)械真空泵,可以單獨(dú)使用,也可以作為其他高真空泵或超高真空泵的前級泵。
旋片泵可以泵出密封容器中的干燥氣體,如果安裝了空氣壓艙物,還可以泵出一定量的可冷凝氣體。然而,它不適合泵出含有太多氧氣、對金屬有腐蝕性、與泵油發(fā)生化學(xué)反應(yīng)以及含有微?;覊m的氣體。
旋片泵是真空技術(shù)中最基本的真空采集設(shè)備之一。旋轉(zhuǎn)葉片泵大多是中小型泵。旋片泵包括單級旋轉(zhuǎn)葉片泵(圖1)和雙級旋片泵。所謂兩級旋片泵是將兩個(gè)單級旋片泵串聯(lián)在一起。通常分為兩個(gè)階段以獲得更高的真空度。
旋片泵主要由泵體、轉(zhuǎn)子、旋轉(zhuǎn)葉片、端蓋、彈簧等組成。轉(zhuǎn)子偏心安裝在旋轉(zhuǎn)葉片泵的腔內(nèi),轉(zhuǎn)子的外圓與泵腔的內(nèi)表面相切(兩者之間有一個(gè)小間隙),兩個(gè)帶彈簧的旋片安裝在轉(zhuǎn)子槽內(nèi)。旋轉(zhuǎn)時(shí),旋轉(zhuǎn)板的頂端通過離心力和彈簧張力與泵腔內(nèi)壁保持接觸,轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)帶動(dòng)旋轉(zhuǎn)板沿泵腔內(nèi)壁滑動(dòng)。
4kw旋片真空泵由轉(zhuǎn)子、泵室和兩個(gè)端蓋包圍的月牙形空間被兩個(gè)旋轉(zhuǎn)板分成三部分:A、B和C。當(dāng)轉(zhuǎn)子沿箭頭方向旋轉(zhuǎn)時(shí),與吸入口連通的空間A的體積逐漸增加,并處于吸入過程中。與排氣口連通的空間C的體積逐漸減小并處于排氣過程中。中央空間B的體積也逐漸減小并處于壓縮過程中。
由于空間A的體積逐漸增加(即,膨脹),氣體壓力降低,并且泵入口外部的氣體壓力大于空間A中的壓力,因此氣體被吸入。當(dāng)空間A與吸入口隔離時(shí),即它轉(zhuǎn)到空間B的位置時(shí),氣體開始被壓縮,體積逐漸減小,最后它與排出口連通。當(dāng)壓縮氣體超過排氣壓力時(shí),排氣門被壓縮氣體推開,氣體穿過油箱中的油層并排放到大氣中。泵的連續(xù)運(yùn)行達(dá)到了連續(xù)抽氣的目的。如果排出的氣體通過空氣通道轉(zhuǎn)移到另一級(低真空級),則在排放到大氣中之前,它被低真空級抽出并被低真空級壓縮,從而形成兩級泵。此時(shí),總壓縮比由兩個(gè)階段承擔(dān),從而增加最終真空度。