進(jìn)口真空泵是指用機(jī)械、化學(xué)或物理化學(xué)方法對(duì)泵送容器進(jìn)行抽真空的裝置或設(shè)備。簡而言之,真空泵是一種使用各種方法來改善、產(chǎn)生和保持封閉空間中的真空的裝置。
進(jìn)口真空泵的壓力應(yīng)滿足真空設(shè)備的運(yùn)行壓力要求。例如,真空鉆孔工藝要求工作真空為10毫微克,所選真空泵的真空至少應(yīng)為2毫微克,可達(dá)到1毫微克。通常,真空泵的真空度被選擇為比真空設(shè)備運(yùn)行的真空度高一半到一個(gè)數(shù)量級(jí)。
進(jìn)口真空泵對(duì)油污染的要求。如果設(shè)備不需要油,應(yīng)選擇各種非油泵,如:水環(huán)泵、分子篩吸附泵、低溫泵等。假設(shè)要求不苛刻,可以選擇油泵,并采取一些防止油污染的措施,如增加冷阱、擋板、油阱等。也能滿足清潔真空的要求。
真空泵的正確組合。因?yàn)檎婵毡镁哂羞x擇性泵送,所以有時(shí)一個(gè)泵不能滿足泵送要求,需要將幾個(gè)泵組合起來以相互補(bǔ)充來滿足泵送要求。例如,鈦泵對(duì)氫有很高的泵送速度,但它不能泵送氦,而濺射離子泵(或2型不對(duì)稱陰極濺射離子泵)對(duì)氬有一定的泵送速度。如果兩者結(jié)合,真空設(shè)備將獲得更好的真空度。此外,一些真空泵不能在大氣壓下運(yùn)行,需要預(yù)真空;一些進(jìn)口真空泵的出口壓力低于大氣壓力,需要一個(gè)前級(jí)泵,所以它們都需要組合使用。
真空泵應(yīng)能在其工作壓力下排出真空設(shè)備過程中產(chǎn)生的所有氣體。
了解待泵送氣體的成分,氣體是否含有可冷凝蒸汽、顆?;覊m、腐蝕性等。選擇真空泵時(shí),必須了解氣體成分,并為泵送的氣體選擇相應(yīng)的泵。假設(shè)氣體含有蒸汽、顆粒和腐蝕性氣體,應(yīng)考慮在泵的入口管道上安裝輔助設(shè)備,如冷凝器和集塵器。
如何選擇進(jìn)口真空泵?每臺(tái)泵都有一定的工作壓力計(jì)劃,如2BV系列水環(huán)真空泵的工作壓力計(jì)劃為760-25兆歐(絕對(duì)壓力)。在如此寬的壓力方案中,泵的泵速隨壓力而變化(具體變化見泵的功能曲線),其穩(wěn)定工作壓力計(jì)劃為760 ~ 60mmHg。因此,泵的工作點(diǎn)應(yīng)選擇在本方案范圍內(nèi),而不是允許其在25 ~ 30兆歐下長時(shí)間運(yùn)行。
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