進口真空泵，凡是利用機械運動(轉(zhuǎn)動或滑動)以獲得真空的泵，稱為機械真空泵。

　　(1)按真空泵的工作原理分類

　?、俪槌剑婵毡贸槲到y(tǒng)中的氣體，并將氣體分子排至系統(tǒng)之外。

　　②捕集式。真空泵捕集系統(tǒng)中的氣體分子，直接吸附在泵工作壁面上而不排出系統(tǒng)。

　　(2)按真空泵結(jié)構(gòu)分類

　?、贆C械式。這類真空泵類似于壓縮機，屬于容積型的有往復式與回轉(zhuǎn)式結(jié)構(gòu)，還有屬于動力式的渦輪分子泵，它們都屬于抽除式真空泵。

　?、趪娚浔?。有噴射泵與擴散泵兩種形式，還有將二者組合在一起的增壓泵，也都屬于抽除式真空泵。

　?、畚?。依靠物理或化學方法使氣體分子吸著在泵壁表面，屬于捕集式真空泵。

　　(3)按真空泵在系統(tǒng)中的工作職能分類

　　①主抽氣泵。實現(xiàn)所要求壓力的主要工作泵。

　　②預抽氣泵。當主抽氣泵不能在大氣狀態(tài)直接開始抽吸時，需要預抽泵先抽至某一壓力，主抽氣泵方能進入工作。

　　③前級泵。當主抽氣泵不能將所抽氣體直接排入大氣時，需串接前級泵排送。

　?、芫S持泵。當主抽氣泵完成所要求的壓力停止工作后，由于系統(tǒng)泄漏或表面蒸發(fā)等原因，壓力可能升高，因此用維持泵繼續(xù)抽吸。

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