真空系統(tǒng)應(yīng)用于半導(dǎo)體工業(yè)還是比較多的。接下來介紹真空系統(tǒng)的內(nèi)容。
真空系統(tǒng)簡介
通過真空系統(tǒng)的設(shè)計(jì)，在單個(gè)生產(chǎn)機(jī)器上，更多的單個(gè)泵被幾個(gè)更大的真空泵代替。自動(dòng)變頻控制系統(tǒng)通過儲(chǔ)氣罐的主支管配置并連接到生產(chǎn)機(jī)器上。真空供應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)要求全自動(dòng)，節(jié)能、低成本、維護(hù)方便、性能穩(wěn)定。員工工作區(qū)域的噪音水平大大降低，以滿足半導(dǎo)體行業(yè)的技術(shù)要求。
1.生產(chǎn)用真空主要是通過高真空減少工作空間的空氣，保持工作空間的清潔。所用真空泵的主要類型包括干式泵(干式螺旋真空泵、爪式泵)、分子泵及其裝置。生產(chǎn)用真空設(shè)備數(shù)量多，功率小。
2.清潔真空主要利用負(fù)壓和大氣壓之間的差異來清潔或輸送液體或顆粒。對于這些應(yīng)用，主要使用水環(huán)泵和多級離心風(fēng)扇。由于真空度低，通常采用多級離心風(fēng)機(jī)，真空源是其系統(tǒng)的一部分。
3.工藝真空主要采用工件搬運(yùn)負(fù)壓吸附或夾緊。螺桿泵、爪式泵、水環(huán)泵、旋轉(zhuǎn)葉片泵和微油螺桿泵等干式泵都是過程真空中常見的真空設(shè)備。
半導(dǎo)體真空泵應(yīng)用安全事項(xiàng)：
1、防止真空泵溫度過高：
真空泵溫度過高會(huì)影響真空度和排氣量，對生產(chǎn)有直接影響。在半導(dǎo)體在真空泵的應(yīng)用中，有害氣體比較多，而無論是干式真空泵還是油封機(jī)械泵，泵腔內(nèi)溫度過高，高溫下易燃易爆及有毒氣體就會(huì)容易發(fā)生危險(xiǎn)。
2、半導(dǎo)體真空泵有效稀釋有害氣體的濃度：
半導(dǎo)體易產(chǎn)生前面所說的易燃易爆、有毒的有害氣體。所以半導(dǎo)體真空泵應(yīng)用中在抽取這些介質(zhì)時(shí)就必須防止它們在真空泵內(nèi)或者排氣過程中發(fā)生一些不可控的反應(yīng)。
比如SiH4、PH3、AsH3、B2H6等物質(zhì)，在與空氣或氧接觸的時(shí)候，會(huì)引起燃燒甚至爆炸;氫氣在空氣中的混合比例達(dá)到一定程度與溫度時(shí)也會(huì)發(fā)生燃燒。這些都取決于該物質(zhì)的量以及與環(huán)境的壓力、溫度的關(guān)系。因此半導(dǎo)體真空泵在抽取這些介質(zhì)時(shí)，需要用氮?dú)庵惖亩栊詺怏w，在壓縮前即將這些氣體稀釋到當(dāng)時(shí)條件下的安全范圍。
3、真空泵注意氧氣的濃度：
空氣中的氧如果濃度過高也會(huì)發(fā)生燃燒及爆炸風(fēng)險(xiǎn)。所以一些情況下需注意氧的濃度，采用惰性氣體來稀釋，防止?jié)舛冗^高;假設(shè)是油封機(jī)械泵可能還需要采用一些惰性的與氧相容的真空泵油，并及時(shí)更換油濾和油品。
4、定期清洗真空泵及其他附件、過濾、管道，避免超壓：
半導(dǎo)體真空泵應(yīng)用時(shí)，抽取介質(zhì)過程中經(jīng)過反應(yīng)室與真空泵，其成分可能極為復(fù)雜，如SiH4與O2在泵口形成SiO2，TiCl4水解會(huì)形成HCl;假設(shè)是油封式機(jī)械泵，這些氣體物質(zhì)還可能與泵油發(fā)生化反。這些變化假設(shè)形成顆粒、可凝物或者腐蝕性介質(zhì)，就可能堵塞真空泵或管路系統(tǒng)，影響真空泵性能，造成壓力上升或超壓，一點(diǎn)中提到的危險(xiǎn)性也更大。所以需要及時(shí)的清洗，并在必要的時(shí)候設(shè)置過濾設(shè)備。
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