真空系統(tǒng)實(shí)際上是真空機(jī)組的類似術(shù)語。真空機(jī)組是由多個(gè)真空泵組成的一套閉環(huán)真空設(shè)備。它不一定有一些設(shè)備，如散熱器和冷凝器。但是一般可以稱之為真空系統(tǒng)的是，所有種類的部件都是完整的。

真空應(yīng)用設(shè)備有很多種，但無論是哪種真空應(yīng)用設(shè)備，都有一套抽氣系統(tǒng)來排出真空容器中的氣體，從而在真空容器中獲得所需的真空條件。例如，用于真空處理的容器通過管道和閥門與真空泵相連。當(dāng)真空泵抽空容器時(shí)，容器必須具有真空測量裝置，該裝置構(gòu)成最簡單的真空泵系統(tǒng)。與機(jī)組相比，真空系統(tǒng)中有多少臺(tái)泵?這是不確定的，讓我們先看看泵的可能名詞解釋。

　　主泵：在真空系統(tǒng)中，用來獲得所需真空度以滿足特定工藝要求的真空泵，如真空鍍膜機(jī)中的油擴(kuò)散泵是主泵。

　　前級(jí)泵：一種真空泵，用于保持某一真空泵的前級(jí)壓力低于其臨界前級(jí)壓力。安裝在如羅茨泵前面的旋片泵或滑閥泵是前級(jí)泵。

　　原泵：真空泵，從大氣壓力開始泵送空氣，并將系統(tǒng)壓力泵送到另一臺(tái)真空泵開始運(yùn)行。例如，真空鍍膜機(jī)中的滑閥泵就是原油泵。

　　維護(hù)泵：在真空系統(tǒng)中，當(dāng)空氣量很小時(shí)，前級(jí)泵不能有效使用。因此，配置一個(gè)容量較小的輔助泵來維持主泵的運(yùn)行，主泵被稱為維護(hù)泵。如果擴(kuò)散泵的出口裝有一個(gè)小型旋轉(zhuǎn)葉片泵，它就是維護(hù)泵。

　　事實(shí)上，簡單的真空系統(tǒng)只能獲得粗略的真空，而高真空泵通常串聯(lián)在真空系統(tǒng)中，以獲得比如羅茨泵和螺桿泵更高的真空。當(dāng)高真空泵串聯(lián)時(shí)，通常在高真空泵的入口和出口分別增加閥門，這樣高真空泵可以獨(dú)立維持真空。

　　據(jù)信，如果串聯(lián)的高真空泵是油擴(kuò)散泵，為了防止大量的油蒸汽回流進(jìn)入被泵入容器，通常在油擴(kuò)散泵的入口處增加一個(gè)——水冷擋板。根據(jù)需要，還可以在管道上增加除塵器、真空繼電器表頭、真空軟連接管道、真空泵入口排氣閥、散熱器等，形成一個(gè)比較完善的高真空系統(tǒng)。

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