由于各種真空泵的性能能夠滿足抽真空容器的共同點(diǎn),所以仍然存在差異。因此,在選擇時(shí),確定泵在真空系統(tǒng)中承擔(dān)的工作任務(wù)非常重要。泵在各種工作領(lǐng)域的功能總結(jié)如下。
1.真空泵主泵
系統(tǒng)中的所謂主泵是真空泵,其直接對真空系統(tǒng)的真空容器抽真空,以獲得滿足工藝要求所需的真空度。
2.粗抽泵
粗抽泵是指真空泵開始將真空系統(tǒng)的壓力從大氣壓降低到另一個(gè)泵系統(tǒng)可以開始工作。
3.前級泵
前級泵是指用于將另一臺泵的前級壓力保持在其最高允許前級壓力以下的真空泵。
4.維持泵
維持泵是指當(dāng)真空系統(tǒng)抽真空很小時(shí),不能有效使用主級泵。為此,在真空系統(tǒng)中配備了另一個(gè)具有較低泵送速度的輔助前級泵,以維持主泵或真空容器所需的低壓真空泵的正常運(yùn)行。
5.粗真空泵或低真空泵粗
低真空泵是指從大氣開始,在降低待泵送容器的壓力后,在低真空或粗真空壓力范圍內(nèi)工作的真空泵。
6.高真空泵
高真空泵是指真空泵在高真空范圍內(nèi)工作。
7.超高真空泵
超高真空泵是指工作在超高真空范圍內(nèi)的真空泵。
8.增壓泵
增壓泵通常是指在低真空泵和高真空泵之間工作的真空泵,用于在中間壓力范圍內(nèi)增加泵送系統(tǒng)的泵送量或降低前一泵的泵送速率要求。
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