阿特拉斯真空泵半導(dǎo)體行業(yè)真空爐中的應(yīng)用

一、真空爐結(jié)構(gòu)：

　　真空爐結(jié)構(gòu)一般由主機(jī)、爐膛、電熱裝置、密封爐殼、真空系統(tǒng)、供電系統(tǒng)、控溫系統(tǒng)和爐外運(yùn)輸車等組成。

　　(1)真空爐殼：

　　密封爐殼用碳鋼或不銹鋼焊成，可拆卸部件的接合面用真空密封材料密封。為防止?fàn)t殼受熱后變形和密封材料受熱變質(zhì)，爐殼一般用水冷或氣冷降溫。

　　(2)真空爐膛：

　　爐膛位于密封爐殼內(nèi)。根據(jù)爐子用途，爐膛內(nèi)部裝有不同類型的加熱元件，如電阻、感應(yīng)線圈、電極和電子槍等。

　　(3)坩堝：

　　熔煉金屬的真空爐爐膛內(nèi)裝有坩堝，有的還裝有自動澆注裝置和裝卸料的機(jī)械手等。

　　(4)真空系統(tǒng)：

　　真空爐的真空系統(tǒng)主要由真空泵、真空閥門和真空計(jì)等組成。

　　二、真空爐工作原理：

　　工作原理即通過抽取真空，形成一個(gè)幾乎沒有空氣的低壓環(huán)境，然后利用水在低壓(低于大氣壓)低溫沸騰產(chǎn)生蒸汽，通過汽水凝結(jié)換熱方式將熱量輸出的原理工作的。

　　三、真空設(shè)備：

　　從真空獲得上分機(jī)械泵、機(jī)械泵+擴(kuò)散泵、機(jī)械泵+分子泵。

　　真空爐種類繁多，對真空系統(tǒng)的要求也不盡相同。就真空而言，有低真空、中真空和高真空系統(tǒng)。

　　1.低真空系統(tǒng)低真空系統(tǒng)適用于真空范圍為2~1333Pa的真空熱處理爐，如預(yù)抽式低真空井式爐。大多數(shù)泵是基于油封的旋轉(zhuǎn)泵。

　　2.中真空系統(tǒng)適用于真空度為3x10~1.333Pa的真空熱處理爐，中真空系統(tǒng)在真空熱處理爐中應(yīng)用最為廣泛，通常由兩級真空泵機(jī)組組成。主泵采用旋轉(zhuǎn)機(jī)械泵或滑閥式機(jī)械泵，主泵為機(jī)械增壓泵(羅慈朋)或油增壓泵的高真空系統(tǒng)

　　3.高真空系統(tǒng)適用于6.6x 10~1.333x10的真空度。真空熱處理爐Pa系列，如真空退火爐、真空釬焊爐，通常由三級真空泵組成，主泵常用的有油擴(kuò)散泵、離子泵，泵多采用一級旋轉(zhuǎn)機(jī)械泵或旋轉(zhuǎn)活塞泵.

　　四、應(yīng)用

　　廣泛用于半導(dǎo)體行業(yè)的電力電子器件、玻封二級管、氣體放電管、磁性材料、熱敏電阻等器件的真空燒結(jié)、封裝、焊接、合金、退火等工藝。

　　五、阿特拉斯GVS系列旋片真空泵在真空爐的應(yīng)用優(yōu)勢：

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　　客戶利益

　　高可靠性 – 堅(jiān)固的設(shè)計(jì)，整個(gè)壓力范圍內(nèi)油保持能力優(yōu)異。單向進(jìn)氣閥保護(hù)真空泵免受反轉(zhuǎn)損傷。

　　即插即用式機(jī)型 - 緊湊、節(jié)約空間的設(shè)計(jì)易于安裝。

　　易于維護(hù) - 合理的轉(zhuǎn)速，低磨損。可以由保養(yǎng)壓縮空氣設(shè)備的同一個(gè)工程師完成真空泵的保養(yǎng)。

　　整個(gè)壓力范圍內(nèi)噪音和振動較低

　　潔凈高效 - GVS 20-300 優(yōu)化設(shè)計(jì)的油分離回路可最大程度地減少排氣中的油蒸汽。單向進(jìn)氣閥不僅可防止真空泵在無通風(fēng)條件下停機(jī)時(shí)發(fā)生反轉(zhuǎn)，還能防止使用點(diǎn)發(fā)生油回吸的現(xiàn)象。