螺桿真空泵是20世紀90年代初出現(xiàn)的理想泵。由于其泵速范圍寬、結(jié)構(gòu)簡單緊湊、泵腔內(nèi)無摩擦元件、能耗低、無廢液排放、運行成本低，已廣泛應用于半導體、光伏、化工、制藥、石化、空間模擬、低壓風洞等領域。

　　目前，各種真空泵的發(fā)展越來越受到真空應用的影響，傳統(tǒng)的真空泵系統(tǒng)已經(jīng)不能滿足清潔、無油、耐腐蝕、可冷凝的抽汽和惡劣工況下運行的要求。因此，近年來，干式真空泵發(fā)展迅速，并且通過真空獲得的產(chǎn)品已經(jīng)更新。

　　螺桿真空泵的特征

　　螺桿真空泵：的工作原理一對同步齒輪帶動螺桿反向旋轉(zhuǎn)，螺桿與泵室之間有一定的間隙，沒有任何金屬對金屬的接觸。因此，當螺桿旋轉(zhuǎn)時，泵送的氣體從空氣入口被吸入，并被排放到空氣出口。

　　早期的螺桿真空泵具有相同的螺距。為了降低能耗和泵腔內(nèi)的溫度，后來開發(fā)了變螺距螺桿真空泵。其中一個螺絲是由兩個不同螺距的螺絲拼接而成，另一個是螺距不斷變化的螺絲桿真空泵，螺絲是由一種整體材料制成的。

　　螺桿真空泵的特征如下

　　變螺距結(jié)構(gòu)，比等螺距螺桿節(jié)能30%，排氣溫度更低;

　　泵送氣體在泵腔中的距離很短，并且被快速排出;

　　泵送的氣體很少在泵室內(nèi)攪拌;

　　小顆粒不易積聚;

　　它能夾帶液體、可冷凝物和微小顆粒;

　　低振動和噪音;

　　泵腔中的殘留物很容易清除。

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