羅茨真空泵的結(jié)構(gòu)概略圖如下圖所示。 在泵室內(nèi),兩個(gè)“8”字形的轉(zhuǎn)子相互垂直地安裝在一對(duì)平行軸上,通過齒輪比為1的一對(duì)齒輪帶的運(yùn)動(dòng),進(jìn)行相互反向的同步旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)。 在轉(zhuǎn)子之間,轉(zhuǎn)子和泵殼內(nèi)壁之間有一定的間隙,可以高速運(yùn)轉(zhuǎn)。
羅茨泵是沒有內(nèi)壓縮的真空泵,因?yàn)橥ǔ嚎s比低,所以高中真空泵需要前段泵。 羅茨泵的極限真空除了取決于泵自身的結(jié)構(gòu)和制造精度之外,還取決于前段泵的極限真空。 為了提高泵的極限真空度,可以串聯(lián)使用羅茨泵。
羅茨泵的工作原理
抽出羅茨泵時(shí),兩個(gè)轉(zhuǎn)子由傳動(dòng)比為1的一對(duì)齒輪驅(qū)動(dòng),進(jìn)行相互反向的同步旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)。 轉(zhuǎn)子之間不接觸,其間有間隙。
羅茨泵的抽氣特性
在寬的壓力范圍內(nèi)有很大的吸引速度
轉(zhuǎn)子之間、轉(zhuǎn)子與泵室壁之間有間隙,泵室內(nèi)運(yùn)動(dòng)部件無摩擦,不需潤滑,泵室內(nèi)無油
轉(zhuǎn)子形狀對(duì)稱,動(dòng)平衡性能良好,運(yùn)行順暢,選擇高精度齒輪傳動(dòng),運(yùn)行時(shí)噪音低,可獲得高轉(zhuǎn)速(提升速度)
羅茨泵在抽氣過程中其工作空間的容積不變,即“無內(nèi)壓縮”,這與很多可變?nèi)萘渴秸婵毡貌煌?/p>
氣體的排出:當(dāng)轉(zhuǎn)子的頂部轉(zhuǎn)動(dòng)排氣口的邊緣,封閉空間與排氣側(cè)相通時(shí),由于排氣側(cè)的氣體壓力高,一部分高壓氣體被推到封閉空間,使空間內(nèi)的氣體壓力突然上升到排氣壓力,即所謂的“外壓縮過程”。 轉(zhuǎn)子持續(xù)旋轉(zhuǎn)時(shí),氣體排出泵外。
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